激光共聚焦显微镜能看到多少纳米？

共聚焦显微镜是一种光学成像技术，可以通过使用空间针孔来阻挡散焦光来提高显微图像的光学分辨率和对比度。在图像形成中，捕获样品中不同深度的多个二维图像可重建三维结构（即光学切片过程）。该技术广泛用于科学和工业界，典型的应用是生命科学、半导体检查和材料科学。

 

利用照明点与探测点共轭特性，共聚焦显微镜可有效抑制同一焦点平面上非测量点的杂散荧光及来自样品中非焦平面的荧光，从而获得普通光镜无法达到的分辨率。它显微成像主要采用3D捕获的成像技术，使其具有较高的三维图像分辨率。这些都是通过构建显微照片来实现的。

 

共聚焦显微镜成像原理

共焦显微镜装置是在被测对象焦平面的共轭面上放置两个小孔，其中一个放在光源前面，另一个放在探测器前面，如图所示。

共焦显微镜光路示意图

得到的图像是来自一个焦平面的光通过针孔数码相机聚焦拍摄，通过所累积的不同焦平面的图像序列，使用软件编译完整的 3d 图像。

 

VT6000激光共聚焦显微镜是应用在材料生产领域中的光学检测仪器。用于对各种精密器件及材料表面进行微纳米级测量，高度测量精度0.2μm，宽度测量精度± 2%。

 

部分参数

高度测量重复性(1σ)：12nm
高度测量精度：± (0.2+L/100) μm
高度测量分辨率：0.5nm

宽度测量重复性(1σ)：40nm
宽度测量精度：± 2%
宽度测量分辨率：1nm