新闻速递 | 虹科与Primelite正式建立合作伙伴关系

 

 

近日，虹科与Primelite正式建立合作伙伴关系，虹科将共同与Primelite开发中国市场，为客户提供高功率点固化光源和大基板紫外曝光光源产品，为紫外固化、半导体制造和加工、高功率紫外应用等行业带来新的光源解决方案。
 

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关于Primelite

Primelite GmbH成立于2016年，由经验丰富的工程师和管理人员组成。在2016年底的SEMICON Japan贸易展上展示了第一个多功能光纤耦合高功率UV-LED光源ALE 1的原型，2017年初开始批量生产。

Primelite通过先进的UV-LED曝光解决方案扩展了产品组合，将标准输出性能带到半导体行业的掩模对准器和晶圆步进器中，提供先进的UVLED点光源和曝光光源解决方案，用于汽车、国防、电子、医疗、光学和半导体行业。

 

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优势技术

高功率输出

与普通产品不同，Primelite紫外光源产品具有集成“UV-LED，电源设备和冷却设备”的结构，可实现“多个高输出UV-LED”，实现业界最高水平的高输出。它可以很容易地集成到系统中，因为它不需要外部冷却以及更换紫外线灯

 

照射范围可变

 

Primelite点光源产品是光导输出，因此可以通过“改变镜头和工作距离”自由改变照射范围。

 

除了支持表面光发射外，还可以收集光线并将高功率光照射到大基板区域，该区域被均匀地照亮。

 

多波长设置
 

Primelite可配备多个 UV-LED，每个 LED 具有不同的波长。UV-LED可以单独打开/关闭和输出控制，根据应用实现波长和输出控制。在某些情况下，通过执行适当的波长和输出控制提高了自动化生产线的吞吐量并缩短了UV固化的处理时间。

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产品及解决方案

 

 

 

ALE 1点光源
 

 

ALE/1是代替以往的放电灯的高输出、高稳定的LED光源装置，最多可内置5种LED，可输出或定制多个波长（365nm，385nm，405nm，435nm），最高可达到30W输出。LED模块易于更换，可灵活应对应用程序更改，易于集成到新的和现有设置中，是适应未来需求且具备显著所有权成本优势的无汞光源。
虹科ALE/1 UVLED光源可适用于半导体制造、质量保证和检查（NDT），在汽车、电子、光电子、制药和生命科学领域具有广泛的应用市场。

 

 

 

ALE 3 点光源
 

 

虹科ALE/3光源是代替以往水银灯的高输出LED紫外线光源装置，可内置2种LED，可选择单光谱设置（365、385、405或435nm）和多光谱设置（365和405nm），高达15 W光输出，是粘合剂硬化及半导体晶片的周边曝光等应用中有效光源方案，是适应未来需求且具备显著所有权成本优势的无汞光源。

 

虹科ALE/3 UVLED光源是替代汞灯的完美解决方案，适用于半导体制造、质量保证和检查（NDT），在汽车、电子、光电子、制药和生命科学领域具有广泛的应用市场。

 

 

 

ALE 1C 曝光光源

 

虹科ALE/1C曝光光源系统是一种超高功率LED辐照系统，宽带输出可达到50W。该光源包含两个系统来使用：控制系统（CSS）和曝光系统（ESS），将控制系统和光源系统一分为二，提供高功率和紧凑性，易于集成到机器中。曝光系统可与光导管、导光板等各种光学元件结合使用。
虹科ALE/1C紫外光源系统可适用于4〃、6〃和8〃晶圆的掩模对准器、1X晶圆步进器和微型步进器以及任何高均匀精度曝光场景

 

 

 

 

ALE 2 曝光光源
 

 

虹科ALE/2紫外光源系统是高输出、高稳定的LED紫外线光源装置，输出功率最高可至80W。ALE/2紫外光源最多可内置4种LED，可输出多个波长（365 nm / 385 nm / 405 nm / 435 nm），并且可配置搭载多个相同波长的模块，实现高强度i线或g线输出。
虹科ALE/2 紫外光源系统可适用于8寸和12寸曝光机、先进封装投影***、晶圆边缘曝光、光掩模检查、质量保证和检查（NDT），在汽车、电子、光电子、制药和生命科学领域具有广泛的应用市场。