长晶方式:水热生长法
未加工前原石(毛棒)
加工后晶棒(精棒)
水热法长晶方式存在一定缺陷
1. 水热法存在某些缺陷,影响Q值。
2. 高压釜在管控存在差异。
3. 矿石品质差异。
4. 子晶质量及来源不受控。
5. 每块原石会因上述1~4点状况不同而有所不同。
压电晶棒质量评估方式
1 标准方式:破坏性实验(参考IEC-60758-93,GB/T3352-94)
1.1 取样块在显微镜下确认及测量尺寸。
Q值检验:0度切割厚度5~10mm
ECDAT切割:厚度为6.3mm-AT-35°15′±1′。
包裹体数量:检验厚度为10mm
1.2 缺点:
取样差异而无法确认真正品质。
抽样数量少。
成本高及检验工作繁琐。
1.3 优点:
对每种规格检测可得到正确结构。
2 经验方式检测(非破坏性实验):可做100%检验或增加抽样数量。
2.1 外观目视检测
2.1.1 外观标志清晰:一般长晶厂对每个长晶高压釜所生长出的原石均做管理,方便溯源。
2.1.2 裂纹和破裂
2.2 旋光性目视检验
2.3 子晶(生长条件控制好在原石上看不见子晶)
2.3.1 子晶居中:在晶棒中心±0.5mm。
2.3.2 生长条件如果好原石上看不见子晶区。
2.3.3 子晶错位:大部分晶体中的错位是子晶中错位的连续。
2.4 包裹体目视检验
2.4.1 晶体中的包裹体会形成新的错位。
2.4.2 子晶罩是典型的引起位错的包裹体,排列在子晶表面一层。
2.4.3 包裹体的检验方式:银光灯,玻璃缸,黑色垫子,回香油晶棒用蘸了回香油的棉布擦拭干净,原晶用蘸水棉布擦拭干净“-X”面朝上。
2.4.4 拿起晶棒放置在银光灯前
2.4.5 目视检查原晶,可以观察到原晶中一个个小气泡或黑点。
2.4.6 根据包裹体尺寸目视对比样品,做出判断。
2.4.7 包裹体在50倍显微镜下拍照。
2.4.8 仔细观察大多数包裹体尺寸在0.05mm以上。
2.5 Q值目视检验
2.5.1 晶棒的Q值与生长期有关(45D / 60D/ 75D / 90D)。
2.5.2 观察M面的宽度,宽度越小Q值越高(宽度≥8mm,Q值较低)。
2.5.3 2.5≤宽度≤8mm,Q值≈2.4x106。
3 利用平板片做简易检验(结合破坏性和非破坏性)
3.1 利用平板片检验晶棒品质作业方法
3.1.1 将样品wafer浸泡饱和溶液中
3.1.2 均匀腐蚀样品,腐蚀厚度0.1~0.12mm
3.1.3 腐蚀完成后,热水清洗,清水冲洗,酒精冲洗,烘干
3.1.4 在晶片Z区部位上任取4个位置画0.5x0.5cm方格
3.1.5 在40~100倍投影仪下观察方格内腐蚀隧道密度
3.1.6 记录每个方格中的腐蚀隧道数量,将4个方格中数量求和即为腐蚀密度
3.2 利用平板片检验晶棒包裹体及Q值品质作业方法
3.2.1 晶棒切割后经过研磨得到0.16mm平板片
3.2.2 将400pcs平板片投入#3000研磨,频率20MHz,±6000ppm
包裹体穿孔:不良率<1%
包裹体裂缝:不良率<1%
3.2.3 投入400pcs到#4000研磨(1),频率25MHz,±5000ppm
包裹体穿孔:不良率<1%
包裹体裂缝:不良率<1%
3.2.4 投入400pcs到#4000研磨(2),频率30MHz,±4000ppm
包裹体穿孔:不良率<2%
包裹体裂缝:不良率<1%
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