白光干涉仪的定义与应用

白光干涉仪是一种高精度测量仪器，只要用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量。它以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、国防军工、科研院所等领域。其主要原理是将白光分成两束，经过不同的光程后再合成在一起，通过干涉条纹的形成来测量物体的形状、表面粗糙度、尺寸等参数。

 

在工业领域，白光干涉仪主要应用于机械制造、半导体、光学、航空航天等行业。例如，在机械制造中，白光干涉仪可以精确地测量机械零件的尺寸和形状，从而保证产品质量；在光学领域中，白光干涉仪可以测量光学镜片的形状和曲率，从而保证光学系统的性能。

 

产品功能

1）设备提供表征微观形貌的粗糙度和台阶高、角度等轮廓尺寸测量功能；
2）测量中提供自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；
3）测量中提供自动拼接测量、定位自动多区域测量功能；
4）分析中提供校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等四大模块的数据处理功能；
5）分析中提供粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析、功能分析等五大分析功能；
6）分析中同时提供一键分析和多文件分析等辅助分析功能。

 

主要测量各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，对各种产品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波纹度、面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、孔隙间隙、台阶高度、弯曲变形情况、加工情况等表面形貌特征进行测量和分析。