高精度电流传感器在真空镀膜设备中的应用

真空镀膜机作为一种关键设备，用于在真空环境下进行薄膜涂覆。在光学镀膜、金属镀膜等领域具有广泛应。对电流的准确监测和控制是实现高质量薄膜的关键。传统电流传感器在真空环境中存在温漂大、精度低等问题，制约了真空镀膜机的性能和工艺稳定性。

真空镀膜设备

传统解决方案：

电流传感器在真空镀膜机上的应用主要是用于监测和控制电流。在真空镀膜机中，由于高真空环境下的温度变化较大，传感器可能会受到温度的影响，导致输出电流值出现偏差。如果电流传感器的温漂较大，会使得系统的电流控制不准确，从而影响薄膜的沉积速率和厚度均匀性。如果电流传感器的精度较低，即输出的电流值与真实值存在较大的偏差，将会导致系统无法准确控制沉积速率和薄膜厚度。特别是对于一些对薄膜质量要求较高的应用，如光学镀膜，精度不高的电流传感器可能导致薄膜的光学性能不稳定或不符合规格要求。传统方式中常用的是霍尔电流传感器来检测电流值。然而，传统霍尔电流传感器存在温差较大和精度不足等问题，这制约了真空镀膜机的性能和稳定性。

 航智产品解决方案：

为了解决这些问题，航智提出了一种基于磁通门技术原理的电流传感器方案。高精度、低零漂的特点完全符合真空镀膜机的应用要求。

通过精确测量和控制电流，高精度电流传感器能够实现更准确的沉积速率和厚度控制，从而提高薄膜的均匀性和质量稳定性。光学镀膜等对薄膜质量要求较高的应用中，高精度电流传感器能够帮助实现更高的光学性能和表面平整度。

精确的电流测量和控制有助于优化工艺参数，提高真空镀膜机的生产效率。通过精细调节电流，可以实现更快的沉积速率或更节约的能源消耗，从而提高设备的利用率和产量。

高精度电流传感器的稳定性更好，能够减小电流测量的漂移和波动，提高工艺的稳定性。稳定的电流控制有助于减少薄膜的波动和不均匀性，提升产品一致性和可重复性。

航智电流传感器在真空镀膜机中的应用能够有效解决传统方案痛点，提高薄膜质量和工艺稳定性，提升生产效率和产品一致性，为真空镀膜机带来更大的优势和应用潜力。

 

航智HIT系列电流传感器是一种基于磁通门原理的产品，专为大批量替代霍尔电流传感器而设计。与闭环霍尔电流传感器相比，HIT系列传感器在性能上表现更出色。其精度可达0.05%，远高于闭环霍尔效应电流传感器的0.2%。此外，HIT系列传感器的带宽可达100kHz，比闭环霍尔电流传感器提高了2倍。同时，HIT系列传感器实现了小型化设计，接口和体积与霍尔电流传感器相同，方便直接替换使用。该系列产品型号有：HIT50、HIT100、HIT200、HIT300、HIT500、HIT600，可对50A到600A的DC、AC和脉冲电流进行测量。

HIT系列高精度电流传感器

HIT系列高精度电流传感器

高精度：0.05%
电流范围：10A~1000A可选
全量程：单个产品1%-100%精度保持一致
温漂小：一致性好，温度影响,0.1PPM/度
线性度：达到50ppm
宽频带宽：高达100kHz @±3 dB
响应时间：1μs
工作温度范围：-40..+85 °C
稳定性（0.2 ppm/月）
交直流通用：可测量交流、直流、脉冲电流
智能化：带载启动过载保护，自恢复

 

公司介绍

深圳市航智精密电子有限公司是一家致力于高精度电流传感器、电压传感器、高精度电测仪表的研发、生产、销售及方案定制的技术先导型企业。我们着力打造直流领域精密电流传感器及精密电测仪表的知名品牌，力争发展成为国际领先的直流系统领域精密电子的领军企业。