季丰电子FEI-Centrios线路修补设备为客户提供高效服务

FEI-Centrios线路修补设备可以更高效地根据客户需求，完成铝制程及铜制程芯片，市场大部铝制程及铜制程(90nm,55nm,40nm,28nm,14nm，10nm以下)均可以施工。

季丰电子目前一共拥有5台FEI-Centrios线路修补设备，张江实验室3台FIB线路修补设备，深圳实验室2台线路修补设备，为区域及辐射区域客户提供更高效更便捷的支持服务。

 

FIB-CKT

FEI-Centrios线路修补设备专注于芯片微加工技术，在纳米级线宽的微细加工领域发挥着重要作用，同时也使季丰FA分析服务链更完整。

3.2nm超高分辨率聚焦离子束镜筒，能够更精准无污染的对复杂样品进行加工，支持最小14nm工艺制程;配置高分辨率 IR 显微镜可观察（900 - 1700nm）可以进行高精度的Back-side。

局部的线路修改可省略重作光罩和初次试作的研发成本，有效缩短研发到量产的时间，节省大量研发费用。

FIB设备的应用：        

 

同层和不同层金属线的切割和连接

 

通过十字Pad或方块Pad引出金属线信号进行电性测试

 

Bonding Pad 将芯片内部信号通过打线直接引出到封装体上

 

22nm的金属线的切割和连接

 

Backside-FIB切割

 

IR定位
        责任编辑：彭菁