6月17日-18日,以“南沙芯声聚势未来”为主题的2023中国·南沙国际集成电路产业论坛在广州南沙盛大召开,来自半导体产业的500多位嘉宾齐聚一堂,共襄盛举。广东省委常委、副省长王曦,广东省政府副秘书长许典辉,广州市委常委、南沙区委书记卢一先,广州市委常委、常务副市长陈勇,广东省商务厅一级巡视员陈越华,广东省科技厅副厅长杨军,广东省工信厅副厅长曲晓杰,广东省工信厅总工程师董业民,广东省发改委二级巡视员赖茂华等出席本次活动。
着眼中国半导体发展,整个产业链要实现国产化、提升生产效率,工业软件系统的环节必不可少。赛美特是一家国产半导体CIM解决方案供应商,其自研的全自动化半导体CIM解决方案,已经得到了多家12吋晶圆厂的量产验证。会上,赛美特科技董事长兼CEO李钢江发表了主题演讲,从12吋晶圆产线的困难与挑战出发,介绍了赛美特国产半导体CIM解决方案实现弯道超车的发展历程。
12吋晶圆产线的困难与挑战
当前,12吋晶圆工厂量产存在着四大难点。首先是高工艺,随着芯片线框越来越小,工艺管控也越来越严格;其次是高成本,半导体厂投资巨大,机台、设备、物料等成本非常高;其三是高良率,这直接关系着投资收回速度;最后是高产量,机台设备和效率若无法充分利用,投资同样难以高效回收。
要解决上述困难和挑战,离不开CIM——即半导体制造的生命级系统,协调各个设备的生产,以提高良率和生产效率。CIM不是单个工具软件,而是一整套解决方案,帮助工厂夯实基座、强壮生产全链路。
目前,半导体工厂为了实现7×24小时不间断安全稳定的生产,对产线智能化的要求越来越高,同时为了满足供需,对良率的要求也越来越高。在半导体的CIM场景中,赛美特认为自动化场景大致分为8个方向,即仓储自动化、设备自动化、工艺自动化、监控自动化、派工自动化、质量自动化、排程自动化和分析自动化。
这其中,工厂生产效率和良率又是两个最重要的方向。
生产效率方面,赛美特CIM解决方案满足工厂完整的生产自动化闭环执行流程——PDCA,即计划、执行、检查、调整。首先,APS系统会通过算法,对组织的未来投入和产出进行目标调优;其次,RTD/Fully Auto会把产品计划分配到具体执行任务上,实现排程和计划结果的自动化生产;然后,Report/Monitoring会根据生产结果进行报表和监控,对结果进行检查;最后,基于检查结果,系统会进行实时调整,包括任务目标及参数等。
提升良率方面,赛美特的品质管理系统(SPC,YMS,FDC等)能够实时记录和收集生产过程中的数据,并进行智能分析,这将极大地帮助产线管理者更高效、更全面地掌握生产状况,并及时作出优化和调整,从而降低产品不良率。例如一个内存芯片的加工,可能会涉及200多层工艺,其中每一层又有很多套工艺需要加工,传统的归因分析法便不再适合。通过品质管理系统则可以快速收集数以百计的机台数据,以及每个机台成百上千的参数,再把这些参数混合在一起,进行数据挖掘和学习处理,进而辅助生产决策、提升产品品质。
赛美特如何弯道超车?
赛美特虽然是一个刚刚成立两年多的品牌,但整合了多家具备数十年半导体工业软件经验的团队,志在成就半导体工业软件国产化,目前已发展成为行业内技术人员最多、产品线最全、12吋产线案例最丰富的供应商。总部设于上海,在苏州、深圳、北京、成都、合肥、台湾、新加坡和马来西亚都设有子公司。
据悉,赛美特的12吋晶圆厂全自动化CIM解决方案历经了3次迭代与升级。从2020年系统整合到2021年半自动化1.0版本,再到2022年全自动化2.0版本。在今年,赛美特将进化成支持高阶制程、大规模量产的3.0版本,助力12吋晶圆产线达到规模化的量产。
半导体制造的工业软件领域更讲究稳定,这就导致行业内其他厂商的迭代速度比较慢。赛美特作为半导体CIM解决方案国产代表,拥有资深技术团队,系统建设在最新的技术架构上,并积极拥抱前沿技术(AI,大数据等)所带来的产业变革。
截至目前,赛美特是国内唯一经过多家12吋晶圆厂量产验证的全自动化CIM解决方案供应商,成为了该细分领域国产梯队的第一名。技术上,赛美特已实现了国产替代;在应用上,还需要更多客户的支持与信赖。
展望未来,李钢江在结尾表示:“做好产品,懂得这个行业,有长期坚持的决心,加上团队管理,客户信赖和时代机遇等,才能做好一家国产半导体CIM解决方案企业,但这不是终极目标,未来,赛美特既要做最受客户信赖的智能制造软件供应商,更致力于成为一家伟大的工业软件公司。”
审核编辑:刘清
全部0条评论
快来发表一下你的评论吧 !