空间光调制器LCOS-SLM消光比的测试方法

消光比虽然不是滨松出厂的标准测试参数，但是通过消光比我们可以间接的得到SLM相位性能水平(相位调制准确度，SLM表面平整度)如何，此外由于消光比测试的光路比较简单，也方便客户长时间观察SLM性能变化，进行故障排除等工作。下面我们将介绍滨松标准的测量消光比的方法。 测量消光比的光路如图所示:

以测量x10468-01为例。起偏器和检偏器使用USP-25.4C0.4-38 工作波长是400-700nm。半反半透镜(half mirror)使用是PSCH-60C10-10W-550 。 起偏器检偏器与半反半透镜使用类似性能的即可。

激光器发出的激光首先经过透镜组进行扩束，再经过一个光阑，保证入射到SLM上的光斑直径为10mm。然后光不任何波片，直接入射到偏振偏振角度45度摆放的起偏器上(迎着光前进方向观察，相对于y顺时针旋转45度)。然后放置SLM，让入射光原路返回，从而保证入射光是垂直入射到SLM上。再放置半反半透镜，让经过SLM反射的光经过半反半透镜反射以后，与入射的光方向垂直，从而保证光在半反半透镜上是45度入射。然后放置检偏器，旋转检偏器角度，让其偏振角度为-45度 (迎着光前进方向观察，相对于y逆时针旋转45度)。然后测量光强随着施加相位的变化。得到的曲线大概如下图：

消光比计算是最小的强度比上最大的强度。

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审核编辑：汤梓红