MEMS/传感技术
传感器/换能器
能够感觉到测量并按照一定规则转换为可用输出信号的设备或设备。它通常由敏感元素和转换元素组成。敏感元件是传感器的一部分,可以直接(或响应)进行测量。转换元件是指传感器的感测(或响应),该传感器可以被感觉到(或响应)转换为被传输和/或测量的电信号部分。当输出是指定的标准信号时,称为变送器。
测量范围
允许误差限值内的测量值范围。
范围
测量范围上限与下限值之间的代数差。
准确性
测量结果与真实值之间的一致性程度。
重复性
在以下所有条件下,重复测量结果之间的符合程度相同测量量:
l 相同的测量方法
l 同一观察者
l 同一台测量仪器
l 同一个地方
l 相同使用条件
l 短时间内重复
分辨率
传感器在测量范围内可能检测到的最小变化度量。
门槛
在传感器输出端产生可测量变化而测量的最小变化量。
零
使输出的绝对值最小值的状态,例如平衡状态。
兴奋
施加到传感器正常工作的外部能量(电压或电流)。
最大激励
可施加到城市中传感器的激励电压或电流的最大值。
输入阻抗
输出短路时在传感器输入端测量的阻抗。
输出
传感器产生的电量作为外部函数的函数进行测量。
输出阻抗
输入短路时在传感器输出端测量的阻抗。
零点输出
在室内条件下,添加的作为零时间传感器的输出进行测量。
防护套
测量值在指定范围内增大和减小时输出的最大差值。
后
输出信号的时间延迟相对于输入信号的变化而变化。
漂移
在一定的时间间隔内,传感器的输出具有与测量无关的不需要的变化。
零漂移
在指定的时间间隔和室内条件下的零点输出变化。
敏感性
传感器输出增量与相应输入增量的比率。
灵敏度漂移
由灵敏度变化引起的校准曲线斜率变化。
热灵敏度漂移
由灵敏度变化引起的灵敏度漂移。
热零漂移
由周围温度变化引起的零点漂移。
线性
校准曲线与指定直线的对齐程度。
非线性
校准曲线与指定线之间的偏差程度。
长期稳定性
传感器仍然可以保持不超过指定时间内允许误差的能力。
固有频率
在没有电阻的情况下,换能器是自由的(无外力)振荡频率。
响应
测量的输出变化的特征。
补偿温度范围
传感器补偿的温度范围,以将范围和零点平衡保持在指定限值内。
爬
当被测机器保持恒定时,输出在指定时间内发生变化。
绝缘电阻
如果没有其他规定,则在室温下施加指定的直流电压时测量传感器绝缘部分之间的电阻值。
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