博捷芯划片机的技术分解

划片机是一种切割设备，主要用于将硬脆材料（如硅晶圆、蓝宝石基片、LED基片等）分割成较小的单元。其工作原理是以强力磨削为划切机理，通过空气静压电主轴带动刀片与工件接触点的划切线方向呈直线运动，将每一个具有独立电气的芯片分裂出来。

 

在划片机中，主轴类型有两种，分别是直流主轴和交流主轴。直流主轴采用轴向强迫通风冷却或热管冷却，以改善冷却效果，主要采用晶体管脉宽调制调速系统调速。而交流主轴经过专门设计的鼠笼三相异步电动机，采用矢量控制调速方法进行速度控制。

为了解决硬脆材料划切工艺的问题，有专业人士提出了一种分层划切工艺方法。这种工艺方法在划切深度方向采用分层（阶梯式）进给的方式进行划切，首先进行开槽划切，采用比较小的进给深度，以保证刀具受力小，降低刀具磨损，减小切割道正面崩边，然后再沿着第一刀划切道继续进行划切。

此外，在划片机的使用过程中，还需要注意切割膜的厚度。当切割膜过深时，会切透膜，导致工件盘失去真空能力而无法固定硅片；当切割膜过浅时，会导致硅片背面崩边严重。因此，切割过程对最后一次切割的深度必须保证。

 

综上所述，划片机技术是一种以强力磨削为划切机理，通过空气静压电主轴带动刀片与工件接触点的划切线方向呈直线运动，将每一个具有独立电气的芯片分裂出来的技术。在使用过程中，需要注意主轴类型的选择、分层划切工艺方法的应用以及切割膜厚度的控制等问题。

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