影响光学薄膜质量的主要因素及控制方法

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膜层折射率误差来源

1)膜层的填充密度,也叫聚集密度。它是膜层的实材体积和膜层的几何轮廓之比。,

2)膜层的微观组织物理结构。即使用同样的膜层材料,采用不同的物理气态沉积技术(PVD),得到的膜层具有不同的晶体结构状态,具有不同的介电常数和折射率。

 

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编辑:黄飞

 

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