电子说
气体流量的测量值是许多工艺生产的重要参数之一。由于气体的可压缩性,决定了它的流量测量比液体复杂,仪表的输出信号除了与输入信号有关,还与气体密度、温度和压力等因素有关。所以,气体的流量测量普遍存在温压补偿问题。
奥松电子研发制造的AS200系列质量流量控制器,无需温压补偿,不但具有质量流量计的功能,还能自动控制气体流量。用户根据生产需要进行流量设定后,AS200自动地将流量恒定在设定值上,即使系统压力有波动或环境温度有变化,也不会使其偏离设定值。
AS200系列产品是奥松电子采用先进的MEMS技术研发,在传感器的驱动,零点漂移的控制和阀控等诸多方面都采用了独特的技术,保证了产品的高性能、高品质和高可靠性,是目前市场上一款稳定性好、精度高、泄漏率低、耐压高的优质仪器。
与众不同 性能出色
1、适用于多种常规气体、混合气体及腐蚀性气体,实现精准的测量控制,精度高达±1.0% S.P. (≥35% F.S);±0.35% F.S. (<35% F.S.);
2、产品通过十万次重复性测试,重复精度高达±0.2%F.S.;
3、耐压强度为3MPa,最大工作压力可达0.45MPa(可定制0.6MPa),能满足市面上大部分的客户需求;
4、1×10-10 Pa·m3 / sec H的低泄露率,气密性好,保障生产安全;
5、无需预热,快速响应,流量控制稳定;
6、流量范围覆盖多个量程,从5SCCM到200SLM(可定制),能适应多种场景需求;
7、可同时支持数字信号,0~5V 模拟信号,4~20mA或 0~20mA 模拟信号,方便客户选择;
8、使用双电源(±15 VDC)或单电源(+15~+28 VDC);
9、提供功能强大的免费客户端上位机软件;
10、定制化解决方案,支持自动故障报警;
11、标准开放的通讯协议为客户自行开发控制、采集软件提供便利
多领域多场景应用广泛
气体质量流量控制器(AS200系列)用于对气体的质量流量进行精密控制和测量。它们在半导体集成电路工艺、特种材料、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。其典型的应用场合包括:集成电路工艺设备, 如外延炉、扩散炉、CVD、等离子刻蚀机、溅射台、离子注入机; 以及镀膜设备、光纤熔炼设备、微反应装置、混气配气系统、气体取样装置、毛细管测量仪、气相色谱仪及其它分析仪器。
审核编辑 黄宇
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