白光干涉仪测二维形貌怎么测

白光干涉仪利用白光干涉原理，通过测量光的相位变化来获取物体表面的形貌信息。在工业制造、科学研究等领域，被广泛用于测量精密器件的形貌、表面缺陷检测等方面。

白光干涉仪通过对干涉条纹进行图像处理，可以获得二维形貌图，显示出被测物体表面的高低起伏。其测量精度主要受到光栅常数、光斑大小、光源稳定性等因素的影响。一般光栅常数越大，测量精度越高，但对仪器的要求也更高；光斑大小越小，测量精度越高，但对物体表面的要求也更高；光源的稳定性对测量结果的影响也不能忽视。

 

工作原理

基于干涉现象，当白光通过一个光栅或衍射光栅后，会被分成不同颜色的光束，形成一系列相位不同的光波。这些光波经过反射或透射后再次汇聚在一起。当两束光波的相位差为整数倍的波长时，它们会发生干涉，形成明暗相间的干涉条纹。通过测量这些干涉条纹的信息，就可以推导出被测物体表面的形貌。

 

测量操作步骤

在使用白光干涉仪测量二维形貌之前，需要进行一些准备工作。
1、确保干涉仪的光源稳定，光路清晰，并校准仪器。校准包括调整仪器的工作距离、倾斜角度等参数，以确保测量结果的准确性。
2、需要选择适当的测量参数，包括光栅常数、光斑大小等，以满足具体测量需求。
3、在进行测量时，需要将被测物体放置在白光干涉仪的测量台上，并保持稳定。通过调整仪器的焦距和位置等参数，使物体表面的光斑清晰可见。
4、启动仪器的测量程序，记录下干涉条纹的图像或数据。

 

SuperViewW1白光干涉仪测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广的优点，测量单个精细器件的过程用时2分钟以内，确保了高款率检测。白光干涉仪的特殊光源模式，可以广泛适用于从光滑到粗糙等各种精细器件表面的测量。

SuperViewW1白光干涉仪

 

测量案例