白光干涉仪测三维形貌怎么测

白光干涉仪测量的结果通常以二维形貌图或三维形貌图的形式展示。二维形貌图是对干涉条纹进行图像处理得到的，显示出被测物体表面的高低起伏。而三维形貌图则是在二维图像的基础上，进一步还原出物体表面的立体形貌。通过这些三维形貌图可以直观地展示出被测物体的形状、几何特征等信息。

工作方式

干涉仪主体通过分光装置将白光分成不同的颜色，然后将分光后的光束分别照射到被测物体表面。被测物体会反射和透射出不同的光束，形成干涉光。然后相机会记录下干涉光的图像，同时将其转换成数字信号。最后计算机会对图像进行处理，将干涉光的特征转化为被测物体的形貌数据，并提供精确的测量结果。

SuperViewW1白光干涉仪仪器架构

 

在用白光干涉仪测三维形貌时，要注意一些问题：

1、被测物体表面应当具有一定的光滑度，以确保干涉光的质量和稳定性。

2、被测物体的大小和形状也会对测量结果产生影响，需要根据具体情况选择适当的测量参数和方法。

3、在进行测量时，应注意避免或校正任何可能导致误差的因素，以确保测量结果的准确性和可靠性。

4、通过合理调整仪器参数，进行准确测量，并进行适当的数据处理，可以获取到物体表面的详细形貌信息。

 

随着科技的进步和应用需求的不断增加，材料表面粗糙度、薄膜厚度、形状检测等测量要求越来越高，白光干涉仪以其测量精度高、操作便捷、功能齐全、测量参数涵盖面广等优点在各个领域中的应用越来越广泛。

例如在制造业中，白光干涉仪可以用于测量机械零件的形貌，以确保产品的质量和精度；在电子行业中，它可以用于检测芯片表面的缺陷和变形；在医疗领域，白光干涉仪可以用于眼科手术中的角膜形状测量等。为许多行业的形貌测量提供了重要的支持。