由于集成电路技术和微机电系统(MEMS)技术的迅猛进步,非制冷红外焦平面阵列探测器技术已经日臻成熟,并且相关产品也开始逐渐实现系列化。在学术界和产业界的共同推动下,非制冷红外焦平面探测器技术的发展速度加快,探测器的灵敏度显著提高,像元间距持续缩小,阵列规格也在不断扩大。由于其低成本、小尺寸、低功耗易集成等优点,非制冷红外成像技术已经在商业领域得到了广泛的推广和应用。
非制冷红外焦平面探测器是一种能在-40℃到+70℃温度范围下工作,将目标的红外辐射转换成电子视频信号的成像传感器。
非制冷红外焦平面探测器是基于MEMS技术制造的微型传感器,它由MEMS芯片、半导体制冷器、吸气剂、窗口、管壳等部分组成。
红外吸收层面可以高效地吸收外来的红外辐射,引起温度变化,从而改变热敏薄膜的阻值,再将将微测辐射热计阵列的电阻变化放大处理,转换为视频电信号并输出。
非制冷红外焦平面探测器的关键技术参数主要包括阵列规格、像元中心距、噪声等效温差(NETD)、工作帧频、热响应时间等。其中,阵列规格可以表征图像的分辨率。像元中心距与光学系统共同决定了成像系统的空间分辨率。在非制冷红外焦平面阵列探测器的发展中,像元中心距已经可以低至10微米。NETD是非制冷红外焦平面阵列探测器最重要的性能指标,它决定了红外探测器的灵敏度。工作帧频和热响应时间决定了运动目标图像的延迟。
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