氦质谱检漏仪应用于真空镀膜生产线

安装新镀膜系统或维护现有系统时, 经常会发生泄漏. 可能是由于连接错误或忘记密封或密封件有缺陷. 氦质谱检漏仪的正确使用对于发现镀膜产线泄漏和日常维护十分重要.

氦质谱检漏仪连接到真空镀膜产线时建议考虑以下二点
1. 大漏检测
真空镀膜设备调试或维护之后出现的泄漏往往很大, 市场上常见的氦气检漏仪最大工作压力通常在约 6 至 25 mbar 之间. 如果存在大量泄漏, 抽真空时有可能无法达到此压力. 下图展示的是一台 Si3 N4  氮化硅镀膜系统. 在某次维护之后, 抽真空时只能达到 80 mbar 的压力. 为了在如此高的工作压力之下依然能够进行检漏, 推荐选用上海伯东氦质谱检漏仪 ASM 340. ASM 340 检漏仪特有的定性大漏检测模式 ( 在 100 hPa 即可进行大漏测试 ) , 借助此模式即可定位存在的漏点.
 

氦质谱检漏仪应用于真空镀膜生产线

 

2. 使用镀膜系统自带辅助泵, 协助抽气
将氦质谱检漏仪连接到真空镀膜产线的前级真空线上. 可以快速抽空大量气体, 提高检漏节拍, 并且可以保护检漏仪不受热应力的影响, 延长检漏仪维护周期, 降低运营成本.

氦质谱检漏仪真空镀膜生产线检漏方法:
采用真空法检漏, 设定真空模式下漏率值, 镀膜机不需要停机, 直接在真空泵的旁路利用波纹管接入检漏仪, 在怀疑有漏的地方(管路, 接头等)喷氦气, 即可完成检漏.

上海伯东氦质谱检漏仪技术参数

	型号	ASM 340 W	ASM 340 D	ASM 340 I
	进气口法兰	DN 25 ISO-KF
	检测气体	氢气和氦气
	对氦气 4He 的最小检测漏率	真空模式: 1X10-12 mbar l/s, 吸枪模式: 5X10-9 mbar l/s
	检测模式	真空模式 (负压) 和吸枪模式 (正压)
	检测气体	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2	4He, 3He, H2
	无校准启动时间	约 3 min
	响应时间	<1 s
	Interface 接口	RS-232, 基本I/O, 现场总线选项和 USB
	对氦气的抽气速度	2.5 l/s
	进气口最大压力	25 mbar		5 mbar
	前级泵抽速	油泵 15 m3/h	隔膜泵 3.4 m3/h	不含前级泵
	工作温度	0-45°C (真空模式) 0-40 °C (吸枪模式)	0-35 °C	0-40 °C
	电压	100-110 V AC, 50/60 Hz 200-240 V AC, 50/60 Hz	100-240 V AC, 50/60 Hz	100-240 V AC, 50/60 Hz
	功耗	850 W	600 W	350 W
	重量	56 kg	45 kg	32 kg
	尺寸	547x350x389 mm

上海伯东普发 Pfeiffer 提供氦质谱检漏仪完整的产品线, 从便携式氦质谱检漏仪到检漏模块, 提供负压检漏 (真空法) 和正压检漏(吸枪法), 满足各种应用. 氦质谱检漏仪与传统泡沫检漏和压差检漏对比, 在提供无损检漏的同时可以检测出更小的漏率 5E-13 Pa m3/s, 利用氦气作为示踪气体定位, 定量漏点. 满足单机检漏, 也可集成在检漏系统或 PLC.