国仪量子高速扫描电子显微镜HEM6000

在大规模成像场景中，常规扫描电镜成像速度和自动化程度都无法满足应用需求。例如，在芯片结构成像应用中，需要在几周内完成数百平方毫米区域的连续拍摄；在人类脑图谱研究中，需要对百亿级神经元进行高分辨成像。对于此类场景，常规扫描电镜效率严重不足，为解决客户痛点，国仪量子于近日推出一款专为大规模成像而生的新产品——高速扫描电子显微镜HEM6000。

高速扫描电子显微镜HEM6000

 

高速自动化HEM6000

HEM6000是一款可实现跨尺度大规模样品成像的高速扫描电子显微镜。采用高亮度大束流电子枪、高速电子偏转系统、高压样品台减速、动态光轴、浸没式电磁复合物镜等技术，实现了高速图像采集和成像，同时保证了纳米级分辨率。面向应用场景的自动化操作流程设计，使得大面积的高分辨率图像采集工作更高效、更智能。成像速度可达常规场发射扫描电镜的5倍以上。可广泛应用于半导体工业、生命科学、材料科学、地质科学等领域。

图像采集速度：10 ns/pixel，2*100 M pixel/s

加速电压：100 V~6 kV(减速模式)；6 kV~30 kV(非减速模式)
 

分辨率：1.3 nm@3 kV，SE；2.2 nm@1 kV，SE

视场大小：最大视场1*1 mm2，高分辨微畸变视场32*32 um2

样品台精度：重复定位精度：X ±0.6 um；Y ±0.3 um

产品优势HEM600001高速自动化

全自动上下样流程和采图作业，

综合成像速度优于常规场发射扫描电镜的5倍

02大场低畸变

跟随扫描场动态变化的光轴，实现了更低的场边缘畸变

03低压高分辨

样品台减速技术，实现低落点电压，同时保证高分辨率

 

应用案例HEM6000