半导体企业精密检测仪器故障原因排查方案

半导体行业生产设备有刻蚀、薄膜沉积、清洗、湿制、封装和测试、抛光、硅晶圆制造等设备，这些精密生产设备对工艺要求很高，例如对供电的稳定性和质量要求，对温度严格的监测和控制等

福禄克公司推出的新一代电能质量分析仪可帮助半导体及电子制造等敏感制造业：

1、日常维护供电质量，提早发现故障隐患，避免停机及降低废品率

2、快速排查故障原因，尽快恢复生产

案例一：

某半导体生产企业车间安装了3套半导体测试设备，一台安装在正在运行的的生产测试线上，有专用的供电，供电质量很好，一直未出现问题

其余两台备用，用墙上的220V插座供电，故障率频发，损坏了多块开关卡。

该半导体测试设备里面的高精密矩阵开关，里面是继电器，是机械开关，漏电流很低。

该检测设备是执行高精度参数测试，适用于测量精度要求很高的场合，要求达到皮乏（PF）、皮安（PA）量级，因此该精密测试设备对供电环境也有较高要求。

故障表现是开关自检时报错，漏电流达到了微安量级。

用户联系福禄克公司的专家去测试现场查找故障原因

下图是测试现场：

仪器在现场持续监测了一周时间

测试结果概述：

捕捉到了发生了多次的电压波动（＞10%），最严重的一次事件：最大偏差-132.2V ，持续时间 0.459ms

数据分析：电压电流趋势

监测期间发生的事件列表

捕捉到的波形偏差，可以查看有效值变化特性曲线，幅值大多在20~30V之间

捕捉到的波形偏差，也可以查看发生时的波形（持续时间3.079s）

总结

监测的一周时间内，发现一次较高的电压波动，和用户反馈的故障周期吻合

精密检测设备需要独立、稳定、高质量的供电电源！

使用Fluke 1777在线监测功能帮助用户查找到了故障的原因：电压波动，导致精密开关无法正常工作

也帮助售后人员确认了精密仪器对电压波动的耐受范围：＜40V大概率没问题

用户反映后期还即将投入使用的3#和4#测试仪器，给用户提出建议：

1.先用1777监测供电质量，电压波动阈值设置为50V，避免器件损坏造成的损失

2.和上次的质量做对比

3.完善安装调试及售后技术人员的操作规程，明确供电质量的要求指标

审核编辑：汤梓红