智能数控超声波清洗发生器电源

智能数控超声波清洗发生器电源键合压头超声波发生器频率追踪电路，涉及半导体键合技术领域，包括超声波反馈回路和频率追踪电路；所述超声波反馈回路包括：高频交流不平衡电桥和变压器，所述变压器输出同相端与电感L的一端连接，电感L的另一端与交流不平衡电桥的一端连接，高频交流不平衡电桥的另一端与变压器的反相端连接。

智能数控超声波清洗发生器电源交流不平衡电桥包括参比桥臂和测量桥臂自动频率追踪电路晶圆压头的的工作频率，高频脉冲互感器CT1、高频脉冲互感器CT2、高频脉冲互感器CT3；避免了每次更换压头要重新调整机器的工作频率的麻烦，电路自动补偿功率与振幅，精度高、功率稳定，使用方便，而且故障率低，维护成本大幅减少，使用寿命更长。

智能数控超声波清洗发生器电源包括 取样信号Vab、Va和Vb通过各自的运算放大器OPA调理至模数转换模块ADC模块要求的输入范围； 数字信号处理器DSP通过数字总线获得所述取样信号Vab、Va和Vb的转换值，通过算法计算出驱动信号的频率、相位以及占空比； 通过IGBT驱动芯片控制IGBT桥式电路输出所需的交流电压； 所述交流电压通过变压器和电感电路后驱动换能器。

智能数控超声波清洗发生器电源

审核编辑 黄宇