芯片测试大讲堂系列
又和大家见面了
本期我们来聊聊
半导体参数测试
内容涉及半导体参数测试原理,
参数测试面临的挑战与实测避坑指南。
前言
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半导体元器件是构成现代电子设备和系统的基础,其性能的好坏、稳定性的高低直接影响到电子设备的性能和可靠性。从最笼统的角度说,我们可以利用半导体参数分析仪对半导体器件进行IV参数测试,即电压和电流关系的测试,也可以延展到CV参数测试即电容相关的测试。
通过以上测试,我们可以得到半导体器件的电阻特性、电容特性和晶体管的增益特性;也可以通过精密的电器特性测量,得到器件的工艺参数直至半导体器件的物理信息,如离子注入浓度(也称掺杂浓度)、薄膜厚度、线宽和氧化电荷等。经常涉及的测量参数如下图:
图:半导体参数测试列表
这些参数的测试对于判断半导体器件的性能、分析其工作机制,以及进行进一步的器件优化都有着极其关键的作用,下面的篇幅,我们重点就直流静态参数测试展开。
半导体静态参数测试简介
静态参数主要是指本身固有的,与其工作条件无关的相关参数,主要包括:门极开启电压、门极击穿电压,集电极发射极间耐压、集电极发射极间漏电流、寄生电容(输入电容、转移电容、输出电容),以及以上参数的相关特性曲线的测试。
除了普通硅基(Si),碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)等全新宽带隙材料能够支持大电压和高切换速度,在新兴大功率应用领域具有广阔前景,IGBT/SiC/GaN器件与模组,可以作为众多应用的电子开关,并且其重要性持续增加。在高电压直流偏置条件下(高达 3 kV),高击穿电压(达 10 kV)、大电流(数千安培)、栅极电荷以及连接电容表征和器件温度特征和GaN器件电流崩溃效应测量功能都十分必要,是推动新器件尽快上市的重要保证。
面对功率器件高压、高流的测试要求,可以使用B1505A和B1506A对芯片、分立器件及模组等功率器件进行全参数测试,包括:
❶ 测量所有IV参数(Ron、BV、泄漏、Vth、Vsat等);
❷ 测量高电压3kV偏置下的输入、输出和反向转移电容;
❸ 自动CV测试;
❹ 测量栅极电荷(Qg);
❺ 电流崩塌测试;
❻ 高低温测试功能(-50°C至+250°C)。
一个典型的测试案例如下:
使用B1506A的Datasheet测试功能对某IGBT功率模块进行实测,整个测试过程使用非常简单,在极短的时间内完成IV、CV和Qg参数测试。具体测试步骤如下:
❶ 选择IGBT测试模板,按照测试要求设置测试条件;
❷ 设置测试曲线的显示范围;
❸ 选择需要测试的参数;
❹ 点击执行测试。
图:IGBT模块Datasheet测试步骤
测试完成后,可以生成Datasheet测试报告如下所示,包括IV参数(击穿电压、漏电、开启特性),CV参数(Rg、输入、输出和反向传输电容)和栅极电荷Qg。
图:功率器件测试结果
实测避坑指南
在实际测量中,工程师会遇到不同的问题和困扰,这里总结了一些常见的可能出现的问题,帮大家在实际工作中避坑。
01
接地单元Ground Unit (GNDU) 连接使用
接地单元不能直接使用,必须通过设备自带的适配器进行连接后,适配器把接地单元的输入转换成Source和Sense,与SMU的输出对应。
02
不单独使用Sense接口去做测试
如果用Sense接口做测试,电流会流经内部电阻Rs,如果DUT电阻小,测量精度会受到影响,Force才是真正驱动输出的接口。
Tips:把Sense作为观测通道,可连接到示波器,观看输出测量的电压变化过程。
03
HFCV 测试的注意事项
a. 连接的线缆必须共地,否则线缆之间的互感影响会导致测量电容的精度下降;
b. CV测量时的Ground不与大地直接相连;
c. 测量的双线连接线,越短越好,减少寄生参量的影响。
04
电流类SMU模块的连接
电流类模块端口定义与功率模块不同,电流类模块是自回流系统,所以连接接口不能直接使用,需要通过Kelvin转接器转成4个接口使用。
05
大电流测试曲线异常
出现大电流测量异常,可能原因包括:
a. 脉冲设置参数不对,如脉宽太短等原因,通过增加脉宽和增加测量时间来修正;
b. 震荡,通过双绞线连接以减小互感;通过对栅极串联电阻的选择以减小信号反射的震荡;通过外加磁环减少互感;通过栅极接50欧姆电阻到地吸收放射信号等方法改善DUT稳定性来消除自激。
06
测试超低电流软件设置
pA/fA级别电流设置,注意事项如下:
a. 测试模式Trace Mode选择精确测试Fine;
b. 增加每点测量时间NPLC,如每点测量时间=50Hz*10=20ms*10=200ms;
c. 增加每点测试延迟时间Delay Time。
07
关于屏蔽,连接等
是德科技半导体
参数测试家族
是德科技拥有完整的
半导体参数测试方案
如下图 ☟
图:是德科技半导体参数测试家族
包括静态参数测试的B1500A/B1505A/B1506A系列,模块化的E5260A/E5270B系列,动态参数DPT测试的PD1500A/PD1550A系列;欢迎大家与我们探讨。
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原文标题:芯片测试大讲堂——半导体参数测试与避坑指南
文章出处:【微信公众号:是德科技KEYSIGHT】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。
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