芯片测试大讲堂——半导体参数测试与避坑指南

描述

 

 

芯片测试大讲堂系列

又和大家见面了

 

本期我们来聊聊

是德科技

半导体参数测试

是德科技

内容涉及半导体参数测试原理,

参数测试面临的挑战与实测避坑指南。

 

是德科技    

前言

半导体元器件是构成现代电子设备和系统的基础,其性能的好坏、稳定性的高低直接影响到电子设备的性能和可靠性。从最笼统的角度说,我们可以利用半导体参数分析仪对半导体器件进行IV参数测试,即电压和电流关系的测试,也可以延展到CV参数测试即电容相关的测试。

通过以上测试,我们可以得到半导体器件的电阻特性、电容特性和晶体管的增益特性;也可以通过精密的电器特性测量,得到器件的工艺参数直至半导体器件的物理信息,如离子注入浓度(也称掺杂浓度)、薄膜厚度、线宽和氧化电荷等。经常涉及的测量参数如下图:

是德科技

图:半导体参数测试列表

这些参数的测试对于判断半导体器件的性能、分析其工作机制,以及进行进一步的器件优化都有着极其关键的作用,下面的篇幅,我们重点就直流静态参数测试展开。

 

 

 

半导体静态参数测试简介

 

静态参数主要是指本身固有的,与其工作条件无关的相关参数,主要包括:门极开启电压、门极击穿电压,集电极发射极间耐压、集电极发射极间漏电流、寄生电容(输入电容、转移电容、输出电容),以及以上参数的相关特性曲线的测试。

除了普通硅基(Si),碳化硅(SiC)和氮化镓(GaN)等全新宽带隙材料能够支持大电压和高切换速度,在新兴大功率应用领域具有广阔前景,IGBT/SiC/GaN器件与模组,可以作为众多应用的电子开关,并且其重要性持续增加。在高电压直流偏置条件下(高达 3 kV),高击穿电压(达 10 kV)、大电流(数千安培)、栅极电荷以及连接电容表征和器件温度特征和GaN器件电流崩溃效应测量功能都十分必要,是推动新器件尽快上市的重要保证。

面对功率器件高压、高流的测试要求,可以使用B1505A和B1506A对芯片、分立器件及模组等功率器件进行全参数测试,包括:

测量所有IV参数(Ron、BV、泄漏、Vth、Vsat等);

测量高电压3kV偏置下的输入、输出和反向转移电容;

自动CV测试;

测量栅极电荷(Qg);

电流崩塌测试;

高低温测试功能(-50°C至+250°C)。

 

 

一个典型的测试案例如下:

 

使用B1506A的Datasheet测试功能对某IGBT功率模块进行实测,整个测试过程使用非常简单,在极短的时间内完成IV、CV和Qg参数测试。具体测试步骤如下:

选择IGBT测试模板,按照测试要求设置测试条件;

设置测试曲线的显示范围;

选择需要测试的参数;

点击执行测试。

是德科技

图:IGBT模块Datasheet测试步骤

 

测试完成后,可以生成Datasheet测试报告如下所示,包括IV参数(击穿电压、漏电、开启特性),CV参数(Rg、输入、输出和反向传输电容)和栅极电荷Qg。

是德科技

图:功率器件测试结果

 

 

 

实测避坑指南

 

 

在实际测量中,工程师会遇到不同的问题和困扰,这里总结了一些常见的可能出现的问题,帮大家在实际工作中避坑。

是德科技

01

接地单元Ground Unit (GNDU) 连接使用

           

接地单元不能直接使用,必须通过设备自带的适配器进行连接后,适配器把接地单元的输入转换成Source和Sense,与SMU的输出对应。

 

02

不单独使用Sense接口去做测试

           

如果用Sense接口做测试,电流会流经内部电阻Rs,如果DUT电阻小,测量精度会受到影响,Force才是真正驱动输出的接口。

Tips:把Sense作为观测通道,可连接到示波器,观看输出测量的电压变化过程。

 

03

HFCV 测试的注意事项

           

a. 连接的线缆必须共地,否则线缆之间的互感影响会导致测量电容的精度下降;

b. CV测量时的Ground不与大地直接相连;

c. 测量的双线连接线,越短越好,减少寄生参量的影响。

 

04

电流类SMU模块的连接

            电流类模块端口定义与功率模块不同,电流类模块是自回流系统,所以连接接口不能直接使用,需要通过Kelvin转接器转成4个接口使用。

 

05

大电流测试曲线异常

           

出现大电流测量异常,可能原因包括:

a. 脉冲设置参数不对,如脉宽太短等原因,通过增加脉宽和增加测量时间来修正;

b. 震荡,通过双绞线连接以减小互感;通过对栅极串联电阻的选择以减小信号反射的震荡;通过外加磁环减少互感;通过栅极接50欧姆电阻到地吸收放射信号等方法改善DUT稳定性来消除自激。

 

06

测试超低电流软件设置

           

pA/fA级别电流设置,注意事项如下:

a. 测试模式Trace Mode选择精确测试Fine;

b. 增加每点测量时间NPLC,如每点测量时间=50Hz*10=20ms*10=200ms;

c. 增加每点测试延迟时间Delay Time。

 

07

关于屏蔽,连接等

           

 

   

是德科技半导体

参数测试家族

 

 

是德科技拥有完整的

半导体参数测试方案

 

如下图 ☟

是德科技

图:是德科技半导体参数测试家族

 

包括静态参数测试的B1500A/B1505A/B1506A系列,模块化的E5260A/E5270B系列,动态参数DPT测试的PD1500A/PD1550A系列;欢迎大家与我们探讨。

 

点击按钮注册

获取更多相关资料、参与抽奖

是德科技

立即注册

是德科技

 

资料预览

 

☚ 左右滑动查看更多 ☛

是德科技  是德科技是德科技是德科技是德科技

奖品预览

 
     

小米接线板

迷你胶囊伞

数据线

 

* 礼品图片仅供参考,请以实物为准。请在填写问卷时留下详细地址,如遇地址不详无法寄送,敬请谅解。

 

 

 

 

关于是德科技

 

是德科技(NYSE:KEYS)启迪并赋能创新者,助力他们将改变世界的技术带入生活。作为一家标准普尔 500 指数公司,我们提供先进的设计、仿真和测试解决方案,旨在帮助工程师在整个产品生命周期中更快地完成开发和部署,同时控制好风险。我们的客户遍及全球通信、工业自动化、航空航天与国防、汽车、半导体和通用电子等市场。我们与客户携手,加速创新,创造一个安全互联的世界。了解更多信息,请访问是德科技官网 www.keysight.com.cn

 是德科技

了解我们不懈追求行业创新的奋斗史:

www.keysight.com/cn...

 

是德科技

点击“阅读原文”立即注册

是德科技


原文标题:芯片测试大讲堂——半导体参数测试与避坑指南

文章出处:【微信公众号:是德科技KEYSIGHT】欢迎添加关注!文章转载请注明出处。


打开APP阅读更多精彩内容
声明:本文内容及配图由入驻作者撰写或者入驻合作网站授权转载。文章观点仅代表作者本人,不代表电子发烧友网立场。文章及其配图仅供工程师学习之用,如有内容侵权或者其他违规问题,请联系本站处理。 举报投诉

全部0条评论

快来发表一下你的评论吧 !

×
20
完善资料,
赚取积分