拓荆科技：PE-ALD设备已实现量产，Thermal-ALD设备正在客户端验证

　　最近，拓荆科技表示，公司ald设备产品包括pe-ald设备和thermal-ald设备，pe-ald设备已实现量产，可以沉积sio2、sin等介质薄膜材料，thermal-ald设备已出库到其他客户端进行验证。可沉积al2o3等金属化合物薄膜。sacvd和hdpcvd设备都实现了产业化。拓荆科技将持续保持产品核心竞争优势，不断扩大量产应用规模。

　　在混合键合设备的进展方面，拓荆科技表示，一款名为dione 300的产品通过客户认证并反复订购，一款名为pollux的产品为客户端认证而出库。结合设备市场规模目前很难量化，潜在的市场需求和未来的增长空间较大。

　　对于订单，拓荆科技表示，公司积极跟上客户的生产节奏，与客户持续签订产品订单，目前手中订单充足，具体合同情况将根据客户的要求决定。

　　对于“薄膜设备产品与海外厂商有没有差异”的提问，拓荆回答说，目前公司成熟产品的核心技术和核心性能指标都达到了国际同类设备先进水平。tujeng技术作为当地供应商，可以为顾客提供量身定做型产品，满足顾客的差别化要求，提供及时、迅速的售后服务。