一文了解芯片的制作过程

制造/封装

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描述

现代生活中,人们已被各种电子设备围绕,

手机、电脑、电视……

那么,这些电子设备是靠什么运作的呢?

答案就是芯片!

简单来说,芯片之于电子设备的地位等同于发动机之于汽车,而制备芯片的原材料,就是最普通不过的石英砂。

沙子与芯片含量最多的元素都是硅,一吨沙不过几十元,一颗几十克的CPU芯片往往能卖到数千块,价格千差万别,这就是沙的逆袭。

在实际的生产中,我们通常将二氧化硅还原成单晶硅,但是这个过程难度很高,因为实际用到的晶圆纯度很高,然后拉出单晶硅晶棒,再到最后切割成一片薄薄的晶圆。再经过晶圆涂膜、光刻显影蚀刻、离子注入、晶圆测试、封装等流程,芯片就制作完成了。

在整个芯片产业中,石英砂是最基础的原料,石英砂中的硅在地球表面储量约为28%(仅次于氧),硅在自然界并不稀缺,但硅的制成品芯片价值却堪比黄金。如果了解石英砂到芯片的整个过程,或许会明白它确实值这个价了。

芯片的制作

01石英砂

硅是地壳内第二丰富的元素,也是半导体制造产业的基础。

02硅熔炼

12英寸/300毫米晶圆级,通过多步净化得到可用于半导体知道质量的硅,学名电子级硅(EGS),平均每一百万个硅原子中最多只有一个杂质原子。下图展示的是如何通过硅净化熔炼得到大晶体的,最后得到的就是硅锭(ingot)。

03单晶硅锭

整体基本呈圆柱形,重约100千克,硅纯度 99.9999%。

04硅锭切割

横向切割成圆形的单个硅片,也就是我们常说的晶圆 (Wafer)。

05晶圆

切割出的是晶圆经过抛光后变得几乎完美无瑕,表面甚至可以当镜子。事实上,intel自己并不生产这种晶圆,而是从第三方半导体企业那里直接购买成品,然后利用直接的生产线进一步加工。

06光刻胶(Photo Resist)

下图中蓝色部分就是在晶圆旋转过程中浇上去的光刻胶液体,类似制作传统胶片的那种。晶圆旋转可以让光刻胶铺的非常薄、非常平。

01光刻一:

光刻胶层随后透过掩模(Mask)被曝光在紫外线(UV)之下,变得可溶,期间发生的化学反应类似按下机械相机快门那一刻胶片的变化。掩模上印着预先设计好的电路图案,紫外线透过它照在光刻胶层上,就会形成微处理器的每一层电路图案。一般来说,在晶圆上得到的电路图案是掩模上图案的四分之一。

02光刻二:

由此进入纳米尺寸的晶体管级别。一块晶圆上可以切割出数百个处理器,不过从这里开始把视野缩小到其中一个上,展示如何制作晶体管等部件。晶体管相当于开关,控制着电流的方向。现在的晶体管已经如此之小,一个针头上就能放下大约3000万个。

07溶解光刻胶

光刻过程中曝光在紫外线下的光刻胶被溶解掉,清除后留下的图案和掩模上的一致。

08蚀刻

使用化学物质溶解掉暴露出来的晶圆部分,而剩下的光刻胶保护着不应该蚀刻的部分。

09清除光刻胶

蚀刻完成后,光刻胶的使命宣告完成,全部清除后就可以看到设计好的电路图案。

10光刻胶

再次浇上光刻胶(蓝色部分),然后光刻,并洗掉曝光的部分,剩下的光刻胶还是用来保护不会离子注入的那部分材料。

11离子注入(ion implantation)

在真空系统中,用经过加速的,要掺杂的院子的离子照射(注入)固体材料,从而在被注入的区域形成特殊的注入层,并改变这些区域的硅的导电性。经过电场加速后,注入的离子流的速度可以超过30万千米每小时。

12清除光刻胶

离子注入完成后,光刻胶也被清除,而注入区域(绿色部分)也已掺杂,注入了不同的原子。注意这时候的绿色和之前已经有所不同。

13晶体管就绪

至此,晶体管已经基本完成。在绝缘材(品红色)上蚀刻出三个孔洞,并填充铜,以便和其它晶体管互连。

14电镀

在晶圆上电镀一层硫酸铜,将铜离子沉淀到晶体管上。铜离子会从正极走向负极。

15铜层

电镀完成后,铜离子沉积在晶圆表面,形成一个薄薄的铜层。

16抛光

将多余的铜抛光掉,也就是磨光晶圆表面。

17金属层

晶体管级别,留个晶体管的组合,大约500纳米。在不同晶体管之间形成复合互连金属层,具体布局取决于相应处理器所需要的不同功能性。芯片表面看起来异常平滑,但事实上可能包含20多层复杂的电路,放大之后可以看到极其复杂的电路网络,形如未来派的多层高速公路系统。

18溶解光刻胶

内核级别,大约10毫米/0.5英寸。图中是晶圆的局部,正在接受第一次功能性测试,使用参考电路图案和每一块芯片进行对比。

19晶圆切片(Slicing)

晶圆级别,300毫米/12英寸。将晶圆切割成块,每一块就是一个处理器的内核(Die)。

20丢弃瑕疵内核

晶圆级别。测试过程中发现的有瑕疵的内核被抛弃,留下完好的准备进入下一步。

21单个内核

内核级别,从晶圆上切割下来的单个内核。

22封装

封装级别,20毫米/1英寸。衬底、内核、散热片堆叠在一起,就形成了我们看到的处理器的样子。衬底相当于一个底座,并为处理器内核提供电气与机械界面,便于与PC系统的其它部分交互。散热片就是负责内核散热的了。

半导体

23等级测试

在芯片完成整个封装流程之后,封装厂会对其产品进行质量和可靠性两方面的检测。

质量检测主要检测封装后芯片的可用性,封装后的质量和性能情况,而可靠性则是对封装的可靠性相关参数的测试。经过测试才算制造完成。

半导体

24装箱

测试完毕后,就可以包装销售了。

至此,一块真正的芯片就这么诞生了。

制造好的芯片被广泛应用于

下游消费电子产品

汽车、电脑、手机甚至小家电内部都有一颗芯片

当我们打开手机

从开机的那一刻起

芯片就开始不停运转,接受各种指令

手机拉近了人与人的距离

提高了沟通效率

也实现了看视频、听音乐、打游戏等很多功能

丰富了人们的生活

大部分功能的实现都要归功于

内部这颗小小的芯片。

石英向芯片的逆袭也已完成,

石英与沙子,本是同根生

但最终在人类的极致熔炼、提纯,精雕细刻下

改变了命运。

审核编辑:汤梓红

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