MEMS/传感技术
近日,上海拜安半导体有限公司(以下简称“拜安半导体”)6英寸MEMS光纤传感器芯片特色生产线正式投产运行,并成功生产出MEMS光纤加速度传感器、MEMS光纤压力传感器等多款产品。
拜安半导体表示,该产线的建成投产标志着拜安半导体成为了上海乃至全国领先的高端MEMS光纤传感器的生产基地,为推动国内MEMS传感器的高质量国产化发展奠定了良好基础。
资料显示,拜安半导体由拜安科技和嘉定综保区公司共同投资,于2022年2月成立。拜安半导体产线拥有全套体硅机械、表面微机械、光学与光纤器件等加工能力,以及芯片封装与可靠性验证等测试手段。
拜安半导体的独立厂房面积超过8100平米,厂房超净间面积超3000平米。产线投产后,拜安半导体除了满足拜安科技对MEMS光纤传感器芯片的需求,未来还将对外开放MEMS光纤传感器芯片研发生产,每年研发生产芯片晶圆10000-15000片。
审核编辑:刘清
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