力敏传感器是将应力、压力等力学量转换成电信号的转换器件。
力敏传感器有电阻式、电容式、电感式、压电式和电流式等多种形式,它们各有优缺点。
半导体压力传感器的主要技术性能:输出3~20mV/V; 精度0.25%; 频率0~ 5000Hz; 工作温度-55~120摄氏度。这种传感器的优点是体积小、成本低,缺点是对湿度十分敏感。压电式力敏传感器的优点是灵敏度高,工作温度范围宽(-70~250摄氏度),缺点是成本稍高。近年来,压电式力敏传感器的应用领域和市场销售额明显扩大。
力敏传感器是用来检测气体、固体、液体等物质间相互作用力的传感器。常用材料有半导体、金属及合成材料。常用的主要是硅压阻式力敏传感器和电容式力敏传感器。硅压力传感器优点是,灵敏度好、精度高、缺点是受温度影响大。
编辑:黄飞
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