RFID技术在智能半导体行业的应用

半导体产业是我国重要的战略性新兴产业，是一个需要高度协同的领域，需要各个环节的紧密配合。RFID技术，作为一种自动识别和数据采集技术，在半导体生产线上具有独特的优势。通过应用RFID技术，半导体制造企业可以实现生产过程的追踪和控制，提高生产效率和产品质量。

在半导体生产线中，将TI玻璃管标签部署在晶圆盒上，再通过半导体RFID读写器识别晶圆盒玻璃管标签内的物料型号、规格、加工流程等信息，对生产过程进行精确的控制和调整。

在晶圆硅晶片清洗环节，通过半导体RFID读写器读取清洗区域内的TI玻璃管标签，确定晶圆硅晶片的信息以及到达清洗位的时间。清洗作业完成后，记录下完成清洗的时间，并对已清洗的晶圆硅晶片进行标记后将本次工序的所有信息上传到管理系统，避免出现工序混淆的情况。

在晶圆盒存储柜管理中，把半导体RFID读写器嵌入到存储柜承载平台支撑板内，在晶圆盒进行存取时，半导体RFID读写器会将读取到的晶圆盒存取信息与时间自动上传到管理系统上的数据库进行保存，并对数据库里的存取信息进行实时更新。

当晶圆盒放置在半导体电子货架时，电子货架上的半导体RFID读写器会自动读取玻璃管标签，采集存放在电子货架上的晶圆盒信息，并在前段的显示屏是哪个显示晶圆产品的部分种类信息；若将晶圆盒取走后，半导体RFID读写器识读不到该位置的标签时，会在显示屏上显示相应的产品已被取走。

半导体天车站点识别与搬运管理，将半导体RFID读写器安装在天车上，RFID标签安装在行车轨道节点。在进行搬运作业时，通过半导体RFID读写器读取轨道节点处的RFID标签，即可获得天车的行车位置信息，对天车进行实时的位置动态监测，并根据自身所在的位置进行线路规划与调度，确保天车的作业安全距离与运输效率。在天车行驶到相应为止时，半导体RFID读写器会识别目的地处的标签信息，将该批次的晶圆信息录入到目的地的晶圆存储信息库中，工作人员可通过在管理系统中快速查找到晶圆盒的所有信息。

RFID技术在半导体产业中的应用，不仅可以帮助企业提高生产效率、降低成本，还可以提高产品质量和竞争力。

审核编辑 黄宇