氧化钒非制冷红外探测器敏感材料详解

红外探测器是红外热成像技术的核心元器件，它能够感知红外辐射并且将红外辐射转化成电信号输出，目前世界上主流的红外探测器的敏感材料主要是氧化钒和非晶硅两种，本文详细介绍红外热成像氧化钒敏感材料。

氧化钒敏感材料采用微测辐射热计技术与CMOS工艺兼容，能够与CMOS读出电路集成，可以基于半导体制造工艺大规模生产制造，属于半导体热敏薄膜，薄膜电阻温度系数与电阻率都成正比关系。

氧化钒敏感材料早在1978年取得突破性研发进展，它的灵敏度要高于a-Si 敏感材料，所以Vox敏感材料的器件成像效果要优于a-Si。

红外热成像探测器供应商高芯科技非制冷红外探测器采用Vox技术路线，覆盖金属、陶瓷、晶圆级三种封装工艺，面阵规格从小面阵120x90，256x192到主流面阵384x288、640x512到高清百万像素1280x1024分辨率红外探测器产品。系列产品灵敏度高，可靠性好，并与国内外龙头红外热成像集成商密切合作，立足于让红外热成像技术惠及大众。