Watlow推出ASSURANT HT

来源：Silicon Semiconductor

 

用于半导体加工的高温解决方案。

Watlow是先进热管理解决方案的提供商，推出了新型ASSURANT HT高温加热套，旨在满足半导体加工的独特需求。

当今先进的半导体工艺以及新的化学物质和应用，需要比以往更高的工作温度范围。ASSURANT HT的建议工作温度高达350°C，使其成为最苛刻应用的完美解决方案。Watlow的玻璃技术可确保ASSURANT HT在洁净室和易燃性方面达到SEMI标准，从而使堵塞和污垢问题成为过去。

Watlow之前发布的ASSURANT TC加热器采用PTFE涂层玻璃纤维制成，可最大限度地提高半导体加工应用中气体管线、泵管线、前级管线和排气管线的热均匀性和覆盖范围。这些解决方案可提供均匀的加热，使整个加热线上的温度分布均匀。ASSURANT加热器护套可完全覆盖生产线，消除导致颗粒堆积的冷点，从而优化工艺设备的正常运行时间和芯片产量。

Watlow首席系统设计师Doug Schaefer表示：“我们很高兴向市场推出新的ASSURANT HT，我们的第一代ASSURANT TC是适用于许多应用的可靠加热解决方案，但随着行业的发展，市场需要更高的温度范围。通过ASSURANT HT，我们为客户提供了热性能的阶跃变化，这将有助于他们在氮化钛等具有挑战性的工艺上保持领先地位。”

ASSURANT HT与所有现有控制器兼容，使其成为真正的即插即用解决方案，可轻松与现有设备集成。Watlow在半导体行业的丰富经验带来了一系列经过彻底测试和验证的创新突破性产品。

ASSURANT HT的推出标志着ASSURANT系列加热器的新时代，该系列加热器是专为半导体加工而全新设计的。

审核编辑 黄宇