mems加速度传感器的分类有哪些
MEMS/传感技术
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微机电系统是集微传感器、微执行器、微机械结构、微电源微能源、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信等于一体的微型器件或系统。
编辑：黄飞
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