如何及时获取真空泵的异常状态数据，实现预测性维护

真空泵是在许多工业领域中广泛使用的重要设备。它们通常用于从封闭容器中移除气体或液体以维持真空状态，这样可以保证制造加工过程的干净和稳定，被广泛应用于电子、半导体、化学和制药等多个领域。

 

如在半导体工厂中，许多步骤都需要在真空环境下进行，例如沉积、刻蚀、清洗等，而真空泵是创造和维持这种真空环境的重要设备，因此保证真空泵良好稳定的运行，便能确保产品质量和生产效率。

 

通常情况下，真空泵的状态监测是基于设备运行过程产生的信号信息，如振动数据、压力数据、温度数据等。这些数据切实反映了真空泵的工作状态，若是超出安全阈值便有可能是设备故障。因此，通过监测这些数据，我们可以了解真空泵的状态，并及时预测可能的故障原因，从而实现对真空泵的预测性维护。

 

1、数据接入：通过真空泵PLC和传感器的数据接入到数之能设备运维管理平台中，可以实现温度、压力、振动、真空度等数据的可视化处理。

 

2、故障报警：通过设置报警阈值与通知方式，在获取到设备故障数据时就会自动报警，在平台中生成故障记录，并通过微信、短信、邮件、APP等进行通知。

 

3、数据分析：通过自定义数据报表实现数据智能分析，如多个设备同一参数、多个时间同一参数等，从而合理优化设备产能、性能、能耗、工艺等。

 

4、运维管理：故障报警快速生成运维工单，工程师快速接单，记录维护日志，方便随时跟踪处理进度；此外，平台也提供远程维护调试和远程上下载程序等操作。

 

5、预测性维护：根据设备故障频率、报警数据、运维记录等有效评估设备运行性能与故障风险，从而建立起预测性维护与备品备件管理的智能系统。