激光干涉仪可以完成什么测量？

激光干涉仪以光波为载体，其光波波长可以直接对米进行定义，且可以溯源至国家标准，是迄今公认的高精度、高灵敏度的测量仪器，在高端制造领域应用广泛。

 

激光干涉仪的工作原理

激光干涉仪发射单一频率光束，光束射入线性干涉镜后分成两道光束射向反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，最后重新汇聚返回激光干涉仪。若光程差没有变化时，激光干涉仪会在相长性和相消性干涉的两极之间找到稳定的信号。若光程差有变化时，这些变化会被计算并用来测量两个光程之间的差异变化。

 

激光干涉仪可以完成哪些测量？

1、在机械制造领域中，可以用来检测零部件的尺寸误差和形状误差。
2、几何参量高精密测量：激光干涉仪可实现线性、角度、直线度、垂直度、平行度、平面度、回转轴等几何参量的高精密测量。
3、精密运动设备导轨的检测：激光干涉仪可检测数控机床、三坐标测量机等精密运动设备其导轨的线性定位精度、重复定位精度等，以及导轨的俯仰角、扭摆角、直线度、垂直度等。
4、同步测量：激光干涉仪可实现龙门机床双轴同步测量。
5、回转轴的测量与校准：激光干涉仪可实现对机床回转轴的测量与校准。
6、动态测量与分析：激光干涉仪具有动态测量与分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和频率分析等，可进行振动分析、丝杆导轨的动态特性分析、驱动系统的响应特性分析等。
7、误差补偿表生成：激光干涉仪可根据用户设定的补偿方式自动生成误差补偿表，为设备误差修正提供依据。
8、环境补偿：激光干涉仪支持手动或自动进行环境补偿。

 

SJ6000激光干涉仪应用

导轨直线度检测对机床精度再校准***Y轴Vertical Straightness测量三坐标测量机示值误差测量自动化设备精度测量影像仪定位精度测量