脉冲放电等离子体应用技术却在近十年里蓬勃 发展,受到广泛关注。在材料表面处理、生物医学、 杀菌消毒、环境处理、能源化工、飞行器气流控制 和点火助燃等领域具有广阔的应用前景。其中,大 气压常温等离子体射流装置由于其体积小、成本低 而受到广泛关注。与DBD 相比,由于射流产生的等 离子体通常喷射出一定长度,使等离子体中的活性 粒子与电场分离,不仅可以不受电极装置的空间限 制,也能远离高压电场,安全可靠【1~2】。 采用脉冲放电方式激励等离子体,脉冲功率电 源是核心技术之一【3~7】,通常要求脉冲电压的宽度 在亚微秒到纳秒量级,因此脉冲压缩和脉冲边沿陡 化都是至关重要的。目前应用比较广泛的有基于脉 冲形成线、磁开关、DBD开关、非线性传输线和雪崩二极管的脉冲压缩技术。
其中NLTL脉冲压缩技术 由于具有与输入信号相关性低、传输频率高、快沿 水平高、波形质量好、属于婺源网络、易于集成等 诸多优点而得到较快发展【8】。 在这一背景下,本文展开以NLTL为基础的脉冲 压缩技术研究,基于孤子波理论,设计脉冲压缩电 路,实现纳秒级高压高重复频率脉冲输出,并应用 于大气压常温等离子体射流激励,得到稳定持续的等离子体射流。
1 非线性传输线及孤子波理论
非线性传输线(NLTLs)是一种在传输线上连续 或者周期得加载非线性元素的结构。它有两类实现 方式:一类是基于非线性电感,另一类是基于非线 性电容。图1为基于非线性电容的非线性传输线 (NLTLs)等效电路,其中电容C(V)为随电压变化的 非线性电容,电感L为线性电感。
当脉冲信号输入非线性传输线,由于非线性电 容值随着电容两端的电压增高而变小,上升沿各点 在通过非线性传输线时由于电平不同而导致非线性 电容值不同,传输速度产生差异,高电平状态点传 输速度快,通过传输线的传输延时短,低电平点传 输速度慢,传输延时长,因此缩短了高、低电平之 间的时间间距(上升沿),如图2所示。
脉冲压缩时间可以用以下公式近似计算: (1) 其中tri是输入脉冲上升时间,tro是输出脉冲上 升时间,n是非线性传输线阶数。 非线性传输线上传输的波,不再是传统意义的 波,而是孤子波。 对图1所示的非线性传输线LC等效电路应用基 尔霍夫电压定律和电流定律,可以得到第n阶传输线 上的电压方程为:
式中:Vn(t)是第n级电容上的电压;Vmax是第n 级传输线电压的峰值;TD是孤子波在每一级非线性 传输线上的传输延迟;TFWHM是孤子波在半幅度处的 脉冲宽度(或者称为传输线的固有脉冲宽度);fB 是布拉格截止频率:
当输入信号的半幅度脉冲宽度大于传输线的固 有脉冲宽度,输入信号将被分解了若干个不同幅度 和传输速率的孤子波,且至少有一个孤子波具有比 输入信号更大的幅度和更短的脉冲宽度,如图3所示。 并且我们可以得到分解成的孤子波个数约为:
2 孤子波脉冲压缩设计及应用研究
非线性电容采用Murata的GR442QR73 D101KW01,其C-V曲线如下图所示,在仿真中采 用公式(7)对非线性电容参数进行拟合,其中: C0=623pF,a=2.137,b=6.072∙10-3。
仿真电路如图1所示,电感采用空心电感, L=1uH,输入脉冲频率为400kHz,幅度为3000V, 脉冲宽度为200ns,采用50阶非线性传输线,输入阻抗 Rgen和输出阻抗Rload都是50Ω。仿真及实测的输入、 输出波形如图5、图6所示。
从图6中看出,输出脉冲幅值为5380V,半脉冲 宽度16ns,波形良好,与仿真结果相符,证明了非 线性传输线良好的脉冲压缩效果。
采用非线性传输输出的的脉冲激励常温大气 ()等离子体,得到均匀稳定的等离子体射流,如 题7所示。
3 结论
本文通过对NLTL传输线及孤子波理论的研究, 设计了一款适用于高压高重频脉冲源的脉冲压缩电 路,在3000V峰值、200ns脉宽的脉冲输入下得到 5380V峰值、16ns脉宽的脉冲输出,并实际应用于 大气常温等离子体的激励,得到稳定均匀的等离子 体射流,可广泛应用于材料表面改性、医疗设备杀 毒消菌、表面清洗等场所。
审核编辑:黄飞
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