三星电子智能传感系统提升半导体工厂产量与自动化

　　三星电子启动了“智能传感系统”研发，此举力图提升产能及转换半导体工厂运行模式。此项系统主打生产过程实时监测与分析功用，当前已能自如应对等离子体均匀性的问题。三星计划于2030年前逐步实现无人工干预的芯片工厂全自动化运作。

　　未来十年，三星的终极目标在于打造完全无人化的半导体生产设施。要达到此成就，需建立能高效处理海量数据并自行优化设备性能的完备体系。据预测，智能传感系统将在实现智能化和全自动化晶圆厂的关键环节中发挥决定性作用。三星目前已斥资数亿韩元投向如智能感应器等相关项目，期待长远回馈。

　　眼下研发中的智能传感器专为精准度测量晶圆上等离子体分布而设计。众所周知，半导体制造过程中的蚀刻、沉积和清洗等步骤，受等离子体均匀性的影响极大，因此在此领域进行精密评估和管理尤为关键。

　　这款智能传感系统经由团队协同研发而来，囊括众多国内外的合作伙伴和学术机构的贡献。该新型传感器最大特点在于体积小巧，可直接接入现有晶圆厂，无需额外空地，这对于洁净室环境尤为难得。

　　此外，值得一提的是，这些传感器皆源自韩国本土设计和制造。过去，以三星为代表的韩国芯片制造商对洋装备高度依赖，而今独立研发出智能传感系统即意味着这种依赖格局发生重大变革，尽管三星所用的绝大部分设备仍来自海外产地。