XD605.X90一维大负载电容传感压电纳米定位台及配套电容闭环控制器

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描述

新年伊始,万象更新。芯明天持续深挖行业需求,攻克技术壁垒,推陈出新,为客户解决一个又一个精密定位技术的难题。

本次为大家介绍一款一维大负载电容传感压电纳米定位台-XD605.X90。产品外观如下图所示。

负载电容

X向运动、大负载

XD605.X90可实现一维X向直线运动,行程可达到95μm,负载可达10kg,分辨率可达3nm,为大负载应用提供更优质的解决方案。

电容式传感器

XD605.X90闭环版本采用电容传感,闭环线性度可达0.021%F.S.,闭环重复定位精度可达0.005%F.S.,由于电容式传感器是根据两个电极之间的电容变化来测量物理量,所以它不受温度、磁场环境等因素影响,在精度、响应速度、稳定性、可靠性和成本方面具有很多优势。

三种位姿、易使用

XD605.X90它在使用放置方式上进行突破,可正立、侧卧、倒置三种位置使用,可满足更多设备或系统对负载位姿的要求。

负载电容

产品应用

显微扫描、光路调整、纳米操控技术、激光干涉、纳米光刻、生物科技、光通信、纳米测量、显微操作、纳米压印等。

技术参数

型号 XD605.X90C/K
运动自由度 X
驱动控制 1路驱动,1路电容传感
标称行程范围(0~120V) 76μm
行程范围(0~150V) 95μm
传感器 CAP/-
分辨率 3nm
闭环线性度 0.02%F.S./-
闭环重复定位精度 0.005%F.S./-
俯仰 <5μrad
偏航 <5μrad
滚动 <5μrad
空载谐振频率 615Hz
带载谐振频率@5kg 310Hz
闭环阶跃时间@5kg 8ms@20μm
承载能力 正立10kg
卧式5kg
倒置10kg
静电容量 37μF
材质 铝合金
重量(含线) 5.7kg

配套控制器

E53.D1C-H系列压电控制器是一款模拟与数字式控制器,具有闭环伺服控制功能,是专为驱动配备电容式传感器的压电产品而研发设计。外形尺寸为148×125×27.5mm,供电为24VDC/1.5A。机身带有散热区域,可快速导出产生的热量,且体积小巧,易于集成。

负载电容

XD605.X90C电容式压电平台与E53.D1C-H电容闭环压电控制器

审核编辑 黄宇

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