英特尔成为全球首家购买3.8亿美元高数值孔径光刻机的厂商

英特尔最近因决定从荷兰 ASML 购买世界上第一台高数值孔径(High-NA)光刻机而成为新闻焦点。到目前为止，英特尔是全球唯一一家订购此类光刻机的晶圆厂，据报道它们的售价约为3.8亿美元。

 

该公司发布了一段视频，显示这台笨重的机器被运往俄勒冈州的工厂以及随后的拆箱。这是半导体晶圆厂业务幕后的有趣景象，同时也展示了机器拆箱后的复杂程度

 

该视频展示了通过货机机头卸载Twinscan EXE:5000光刻机，然后将其运输到英特尔俄勒冈州工厂的快速延时拍摄。从光刻机被抬进了进建筑物内，看到它是如何像礼物一样被打开的，以及工厂如何拥有开始组装过程的机械？

 

据Tom's Hardware 称，EXE:在250个板条箱中运输，总重为330,000磅。该机器预计将在2025年全面投入使用，这很好，因为组装至少需要六个月。组装完成后，英特尔将对其进行校准并准备开始制造芯片

 

这种漫长而艰巨的组装和测试过程可能是英特尔的竞争对手目前使用高数值孔径保持干燥状态的原因之一。让机器启动并运行，然后了解如何制造无缺陷的硅晶圆是一个非常漫长且具有破坏性的过程，一些分析师表示，不值得为此付出成本和中断晶圆厂的生产线。

 

然而，英特尔认为这是对其未来的明智投资，因为它可以显着增加晶圆密度。它还假设整个行业最终将过渡到高数值孔径，因此，如果英特尔能够先于竞争对手实现高数值孔径量产，那么英特尔将比台积电和三星更具优势。

 

英特尔计划在 High-NA 机器上测试即将推出的英特尔 18A 工艺，只是为了看看它是如何工作的，而不是为客户制造可行的芯片。该公司已宣布计划于2026年在其 14A 工艺（1.4nm）中采用 High-NA 工艺，随后于2027年采用英特尔 10A 工艺（即 1nm）。