FixInst荣获“科技创新奖优秀奖”！

经过 FixInst 材料研发团队的不懈努力，项目《基于晶振微天平原理的超低湿度测量技术及应用》研发落地成功！

在《2022年度民营科技发展贡献奖》评选中，成功荣获了由中华人民共和国科学技术部、国家科学技术奖励工作办公室批准设立、中国民营科技促进会颁发的“科技创新奖优秀奖”！

项目介绍

 

FIXINST-Q QCM双QCM湿度敏感层的多孔结构

应用方向：

气体纯度品质其中一个核心参数的检测。例如电子特气 (>5N) 几乎贯穿整个半导体制程工艺包括沉积、光刻、刻蚀、扩散、退火等关键工序。其杂质含量直接影响晶圆厂的技术指标和良率

项目优势：

超低露点（-120 ℃td）湿敏材料的成功研发，可检测超高纯度 (>6N) 电子特气的杂质含量；双QCM传感器的专利方案，可实时在线进行污染补偿，大大改善了QCM怕污染的弱点

目前产业化应用产品：

F138x 系列 QCM露点及压力多参数变送器F141x 系列 双QCM标准型露点变送器

 

审核编辑：刘清