ASML 首台新款 EUV 光刻机 Twinscan NXE:3800E 完成安装

3 月 13 日消息，光刻机制造商 ASML 宣布其首台新款 EUV 光刻机 Twinscan NXE:3800E 已完成安装，新机型将带来更高的生产效率。

▲ ASML 在 X 平台上的相关动态

ASML 官网尚未上线 Twinscan NXE:3800E 的信息页面。

除了正在研发的 High-NA EUV 光刻机 Twinscan EXE 系列，ASML 也为其 NXE 系列传统数值孔径 EUV 光刻机持续更新升级，未来目标在 2025 年推出 NXE:4000F 机型。

上两代 NXE 系列机型 3400C 和 3600D 分别适合 7~5、5~3 纳米节点生产，德媒 ComputerBase 因此预测 3800E 有望支持 3~2 纳米的尖端制程。

根据 ASML 此前分享的 2021 版路线图，Twinscan NXE:3800E 系统将相较上代 3600D 在对准精度（Overlay）和产能上进一步提升，可实现 195 片晶圆的每小时吞吐量，相较 3600D 的 160 片大幅提升近 22%，并有望达到 220 片的目标（对应提升 37.5%）。

审核编辑 黄宇