“阳春三月友相逢” Park亮相上海SEMICON CHINA 2024(3月20-3月22日)

来源：Park Systems

SEMICON CHINA 2024将于3月20-3月22日在上海举办，连续参展的Park Systems将以“创新 卓越 优质”为主题，携旗下的核心产品重磅亮相此展览会。

公司简介速览

Park Systems成立于1988年， 是全球首个推出商业原子力显微镜产品的上市公司 。Park公司成立30多年来，始终致力于纳米领域的形貌&力学测量和半导体先进制程工艺的计量的新技术新产品的开发。其纳米计量系统（包括 AFM 和椭偏仪）被半导体、电子、材料科学、生命科学等众多行业的研究人员和科学家广泛使用。

Park Systems为半导体制造计量、器件失效分析以及各种工业应用提供了一系列自动化原子力显微镜。其产品组合能够满足半导体和显示行业的需求，提供对纳米级结构的精准控制和测量，这对于器件制造和性能提升尤为重要。Park原子力显微镜技术所提供的测量准确性、重复性和全面性显著提高了制成效率，并提升了终端产品的质量。

核心产品抢“鲜”看

Park NX-Wafer

用于半导体晶圆制程

·为FA和研究实验室提供精准的原子力显微镜解决方案

·实现高量率的精准且高重复性的测量

·低噪声Z探测器可精确测量原子力显微镜表面形貌

·使用真正非接触模式扫描方式，实现样品无损检测

Park NX-3DM

自动化工业AFM用于高分辨率三维计量

·专为凹陷和悬垂结构的侧壁分析进行了优化

·采用创新设计的旋转扫描器，实现精准的3D计量

·能够在精细的光刻胶表面进行非破坏性测量

Park NX-eAFM

·通过C-AFM和EFM实现晶圆级电学分析

·面向纳米器件的电测试解决方案和纳米成像能力

·对薄膜击穿电压及相关特性、阈值电压的成像

Park NX-Mask

用于半导体光掩模修复

·紧密集成到产线过程中，实现即时、无缝修复

·自动化原子力显微镜用于表面粗糙度和图案步高测量

·兼容自动化双POD系统，用于EUV掩模处理

·综合解决方案，用于缺陷检测和修复后验证

·准确、无损的机械缺陷去除

Park NX-Hybrid WLI

AFM和WLI联用技术，Park NX-Hybrid WLI 应运而生！

·它结合了顶级的半导体计量技术：白光干涉仪（WLI）和原子力显微镜（AFM）

·WLI和AFM一起在范围、分辨率和速度方面表现出色

·两个物镜可通过电动线性镜头更换器自动更换

Park NX-TSH

用于大型平板显示器计量

·专为建立下一代平板显示器生产工厂的制造商而开发

·用于OLED、LCD和2D编码器样品的全自动探针扫描头

·为OLED、LCD和光掩模提供可靠且高分辨率的AFM图像

·克服了样品尺寸和重量的限制

售后服务优质暖心

和客户对接中，工程师能积极参与工厂的生产规划环节，再根据中国市场情况，去工厂对客户的设备需求进行出厂检查以及调试。如有需要，我们的工程师还会陪同客户去工厂对设备进行预验收。

当问题出现时，客户可以通过电话、微信、网络留言等多种方式联系到我们。如果条件允许，我们不仅可以进行视频协助，甚至可以派遣就近人员上门处理。在中国，我们的备件仓库可以实现80%以上的本土维修。

在Park Systems，我们致力于向全球客户提供高水准的服务质量，并提供全面的技术支持，帮助客户实现他们的目标。我们的专业技术团队随时提供Park原子力显微镜安装、操作等相关方面的帮助。我们承诺及时、有效地解决客户的相关疑问。

审核编辑 黄宇