全国最大8英寸碳化硅衬底生产基地落地山东？

“6英寸时代，我们跟上了市场；8英寸时代，我们正领先全国，并达到世界先进水平。今年，公司投资扩产的重中之重将放在济南项目上，大幅提升8英寸碳化硅衬底产能，快速推进产品升级迭代速度。”日前，广州南砂晶圆半导体技术有限公司（下称“南砂晶圆”）董事长王垚浩在采访中表示。

王垚浩口中的“济南项目”，是去年于济南市历城区注册成立的山东中晶芯源半导体科技有限公司（下称“中晶芯源”），南砂晶圆计划将其打造为全国最大的8英寸碳化硅衬底生产基地，投资额15亿元，于2025年实现满产达产。

作为第三代半导体产业细分龙头企业，南砂晶圆的核心生产基地花落山东，是鲁信集团直管企业鲁信创投坚定扛牢地方国有创投机构使命担当、充分发挥优质科创企业资源及信息优势、积极为山东省高质量招商引资搭建“桥梁”的又一例证。

龙年春节后首个工作日召开的山东省高水平开放暨高质量招商引资大会，向全省发出了深化大开放、拓展大招商的动员令。鲁信集团党委书记、董事长陈秀兴表示：“多年来，鲁信集团发挥旗下鲁信创投等直管企业优势，持续纵深布局‘硬’科技领域，挖掘赋能‘高’科技项目，着力搭建拥有关键核心技术、创新能力突出的优质企业‘朋友圈’。下一步，我们将更加积极主动地聚创新之势、汇合作之力，助力山东通过高质量招商引资引进新变量、培育新动能、塑成新优势，积蓄高质量发展新势能。”

4英寸起步、6英寸追赶、8英寸领先

作为技术应用最成熟的衬底材料，碳化硅衬底在市场上“一片难求”。“碳化硅功率器件在新能源汽车中的渗透率正在快速扩大，能显著提升续航能力与充电效率，并降低整车成本。”王垚浩介绍，这个行业技术门槛高，而且资金投入大，仅一台加工或检测设备便高达千万元，“只有加强资本运作，才能实现横向、纵向扩展，夯实并提高市场份额。”

2021年5月，鲁信创投凭借对科创型项目的专业辨别能力与赛道把握能力，成为南砂晶圆A轮融资领投方，投资逾亿元。有了“真金白银”加持以及鲁信创投覆盖核心耗材、衬底生产、芯片设计、晶圆制造、模块封装等全产业链的投资布局赋能，南砂晶圆技术成果加速迭代，长晶与生产加工环节良率持续提升。

“从4英寸起步、6英寸追赶到如今8英寸领先，难度系数呈几何倍数递增。这个过程中，鲁信创投给予我们极大的支持与信任，确保公司能够心无旁骛加大研发力度，提高工艺水平，并搭建起国内第一条完整的全自动激光切割流程设备线，实现了从零到一的突破。”王垚浩表示，“目前，公司8英寸衬底产品各项技术参数已经位列国内第一梯队，达到世界先进水平。国外龙头企业发展了30多年，我们仅用5年就赶上了。

找准产业契合点，捕捉企业关注点

“创业前5年，我们搭建起了自主核心技术体系。如今进入第二个5年，将着力在规模化生产上下功夫，迅速提升产能，确保稳定供应。”王垚浩说。这一扩产计划，也让鲁信创投嗅到了机遇，找到了契合点。

“南砂晶圆扩产计划的酝酿、讨论、调研以及最后敲定，我们在投后服务中均全程参与，第一时间掌握了准确消息。为助力山东抢抓产业发展机遇，我们认为，引入南砂晶圆这一行业龙头企业，将进一步优化第三代半导体产业发展布局，提升产业整体竞争力，带动全省电子信息产业的融合发展。”鲁信创投副总经理葛效宏如是说。

为此，鲁信创投积极靠上、精准对接、聚焦发力、靶向出击，在找准产业契合点、捕捉企业关注点的基础上，协调山东各方资源，吸引南砂晶圆最终选择山东、落地山东、携手山东。“我们计划在济南项目全部建设8英寸衬底产能，逐步将其打造为公司主力产品，实现异军突起、弯道超车。”王垚浩透露。

在鲁信创投积极对接关键材料提供方及上下游供应商的助力下，南砂晶圆济南项目中高达99%的原材料、95%的主要生产设备将实现国产化，达到行业领先水平。“南砂晶圆将有力促进山东补齐产业链缺失环节，促进产业链上下游、大中小企业紧密配套、融通发展，打造空间集聚、功能关联的第三代半导体产业集群。”葛效宏表示。

将对接更多龙头企业来山东投资

高质量招商引资的“高”，体现在招引的视野理念、机制手段、产业层次和项目质量上。这同样是鲁信创投纵深布局“硬科技”项目、“长周期”扶持创新型科技企业、“全流程”赋能实体产业的关键词。除碳化硅行业之外，鲁信创投还积极助力山东在航天航空方面勇当创新标杆，已先期投资蓝箭航天、微焓科技、鸿侠科技等行业龙头企业，并持续助推其与山东企业加强合作，力争尽快落地山东。

目前，鲁信创投90%以上的资金投资在‘硬科技’领域，已成功投资培育了一批新材料、高端制造等领域的行业龙头企业。作为山东省重要投融资主体和资产管理平台——鲁信集团旗下从事创业投资业务的核心板块，将围绕山东产业发展现有基础及战略布局，借助一手资源及信息，通过精准招商、产业链招商、以商招商、资本招商等创新途径，积极对接更多龙头企业、重点工业企业来山东投资，在“进”上寻求突破，在“立”上厚植优势。

审核编辑：黄飞