据天眼查资料,上海华虹宏力半导体近日获批一项名为“半导体器件”的专利,其编号为CN113192948B,发布日期为2024年4月5日,申请时间为2021年4月27日。
该发明涉及一种半导体器件,包含底座,又划分为第一和第二园区,一个位于另两个邻侧之间;两个子漏区,坐落于底座的第一园区;虚拟结构,位于两子漏区间的底座上;源区,位于底座的第二园区;栅极结构,位于第一和第二园区之间的底座上。此发明通过虚拟结构提升器件的ESD性能,无需现有技术的SAB光罩或引入新工艺流程,可直接在制造过程中同步构建虚拟结构,从而降低器件的生产成本。
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