探访世界顶尖德国20nm晶圆工厂：匪夷所思的IC制造

　　电子发烧友网讯：星期五的早晨，一群记者从德累斯顿城市中心酒店步出，打算前往位于市郊的格罗方德的fab1 complex工厂。沿着一条狭窄的街道我们可以找到一个著名的教堂（圣母大教堂）。

 

　　德累斯顿Salzgasse大街的圣母大教堂

　　这个漂亮的教堂教育19世纪，在二战中被被战火毁灭。之后被重建，直到2005年才完工，它被看做是和谐的象征。

　　经过二十分钟的长途跋涉，我们到达了格罗方德的FAB 1 complex工厂。

　　近距离接触格罗方德的复杂的Fab 1。

　　这片区域是在1996年开辟出来的，第一条200mm的晶圆制造洁净室与1999年在这里揭幕。这条洁净室在不久以后就被清空了设备，并重新配置了300mm的半导体设备。这个目前只处理300mm直径的晶圆。

　　因此它将来是否做450毫米的晶圆？这固然使这个地方避免成为一个被遗弃的晶圆厂，同时避免将所有的精力转移到格罗方德在纽约的FAB 8。

　　欢迎来到格罗方德的 fab 1

　　今天的主持人，第一个发言者是Fab 1的副总裁和总经理Rutger Wijburg。他曾经在NXP工作过，在2011年10月1日加入了格罗方德，Wijburg整理出2011年间影响格罗方德28nm生产的几个因素。他给记者们作了一个热情的演讲，在江湖中，他提及到在欧洲保留制造业的重要性。

　　

格罗方德FAB 1的副总裁和总经理 Rutger Wijburg

　　Winburg同样提到20nm硅晶圆生产fab和一个超过三十亿美元扩张计划去建立12000平方英尺的洁净室以提高其制造能力，这就是为我们所知的Annex。

　　Fab1 complex的更多细节，之前的fab30和fab36属于超威半导体公司。

　　黄光之下的世界

　　很少机会你可以进入正在运行的晶圆工厂。工程部经理通常都会非常保护他们的领域，同时会关注到在这样一次到访之后，故障率会大幅攀升。但允许进入的记者已经准备好了“全副装备”，使用防脱落的洁净室纸质笔记本和不接触里面的任何东西。需要留意的是前端晶圆盒运送车在机器之间运送一箱一箱的晶片。FOUP是前端开启时警员运送盒的简称，每个盒子里面的空气都是额外干净的，且每个盒子可以运送25个300mm直径的晶圆。然而，这个简称在我们的词汇里一般认作foup，一个现在已经有着其特定意思的词。

　　德国的记者团，聆听和记录集成电路制作的复杂性。

　　黄色灯光是用来降低能量输入到抵制和进程中。然而晶圆是在级旗舰运输的。一个芯片制造商允许在其工厂拍照，而不顾忌泄露机密，这种做法实际上也是很罕有的。这个和接下来的照片都格罗方德里面的照片，在发布之前经过了仔细审查。

　　薄钢板在适当的位置去减小负载，而更多的设备是带来负载的。

　　扩张的模件仍然相当空，然而一些设备已经适合用，同时其他的已经合格了。

　　格罗方德的向导说更多有版港版制造的设备已经在运送过来，用来减弱负载，同时减小对地板的伤害。

　　把他带到桥上

　　一个芯片生产所需的直径为30mm的晶圆

　　格罗方德的fab 1的五个洁净室都是通过高架桥连接的，这样的话洁净室的清洁度得到保证。

　　猎奇者的奖励

　　在餐馆德累斯顿的洁净室的过程穿这个带有服装。手套、头套和口罩的清洁服最后终于得到了回报，我们瞥见了在高处的foup-运输工具，编号001.

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