台积电CEO魏哲家寻求高数值孔径EUV设备 赴ASML和TRUMPF访问

　　据韩媒Business Korea报道，台积电CEO魏哲家未出席本应由其主持的5月23日“台积电2024技术研讨会”，而是选择赴荷兰与ASML及TRUMPF进行商务洽谈。

　　ASML CEO Christophe Fouquet和TRUMPF CEO Nicola Leibinger-Kammüller通过社交媒体公开了魏总此次秘密行程。

　　Fuke表示，他们向魏总展示了最新的技术和产品，特别是关于高数值孔径（High NA）EUV设备对未来半导体微处理技术的影响。

　　早前，台积电张晓强博士在5月14日阿姆斯特丹的技术研讨会上坦诚表示，虽然ASML的High-NA EUV设备性能出色，但其售价过高。

　　台积电计划在2026年下半年量产的A16产品后引入High NA EUV设备，并在此之前继续使用现有的Low NA EUV设备。