190-400nm高分辨紫外波前传感器助力半导体行业发展!

描述

本文介绍了紫外波前传感器在半导体检测中的应用。详细阐述了其在晶圆检测、芯片检测、封装检测以及光学元件检测中的具体应用。指出紫外波前传感器能够提供高精度的检测数据,帮助工程师及时发现问题并进行修复,从而提高产品质量和生产效率。

上海昊量光电设备有限公司推出全新一代高分辨率紫外波前传感器,探测波段覆盖190-400nm。该高分辨率紫外波前传感器具有可测试汇聚光斑,高动态范围,大通光面(13.3mm x13.3mm),高分辨率(512x512),消色差,震动不敏感等特点。半导体技术在现代社会中扮演着越来越重要的角色。随着半导体器件尺寸的减小和集成度的提高,对检测技术的要求也越来越高。紫外波前传感器作为一种高精度的光学检测手段,在半导体检测领域发挥了越来越重要的作用,应用范围也越来越广泛。

工作原理:

昊量光电推出的紫外波前分析仪基于四波剪切干涉的原理。四波剪切干涉技术克服了传统哈特曼传感器的局限性,可以直接检测汇聚的激光,同时获得相位时需要的像素点大大减少,从而具有高分辨率、高灵敏度和宽动态范围,消色差等优势。AUT-SID4-UV-HR紫外波前分析仪由高分辨率的相机和二维衍射光栅构成,激光通过光栅后,待检测的激光波前分成四束,两两进行干涉,对干涉条纹进行傅里叶变换,提取一激光的信息和零级光的信息,利用傅立叶变换进行相关的计算,计算出待测波前的相位分布,以及强度分布等。

传感器

波前分析仪在半导体领域的应用:

半导体行业的光刻系统依赖于极其复杂的激光源和光学系统。Phasics公司SID4 系列波前传感器涵盖从紫外线(UV,190nm)到长波红外(LWIR,14um)的范围,已被证明在半导体行业中非常有价值,可用于鉴定此类光学系统的设计波长。越来越多的研发或制造工程师将SID4 波前传感器用于激光源和光学系统的对准和计量。

波前传感器可在单次测量中获得完整的激光特性。波前传感器是支持光刻系统制造商和集成商校准、鉴定和监控其紫外光源和系统的理想工具。在整个光刻过程中,都会对晶圆进行检查。晶圆的检测是晶圆制造过程中的关键部分。昊量光电推出的高分辨率紫外波前分析仪结合了高动态范围、纳米波前灵敏度和高分辨率,是集成在晶圆检测机中的绝佳候选者。

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晶圆检测:可以检测晶圆表面的缺陷、薄膜厚度、平整度等参数。

晶圆表面形貌测量:紫外波前分析仪可以通过配合望远系统,通过测量打到晶圆表面光的反射确定晶圆表面的形貌特征。
 

薄膜厚度测量:波前分析仪可以对薄膜进行双透射测量,根据相位变化,从而确定薄膜的厚度或者得到薄膜的均匀性特征。这对于控制半导体制造过程中的薄膜沉积和蚀刻工艺非常重要。

 

 

半导体制造过程监测:在半导体制造过程中,波前分析仪可以实时监测晶圆的表面形貌和光学特性,以确保制造过程的一致性和质量。它可以帮助工程师及时发现问题并进行调整,从而提高生产效率和产品质量。

 

 

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 芯片检测:可以检测芯片表面的形貌、结构、电路布局等参数。

波前传感器可以用于检测芯片封装后的光学性能,如光功率、光束质量等。这对于确保芯片在封装后的可靠性和性能非常重要。同时波前传感器可以通过高速测量和数据处理,实现快速检测,提高生产效率。随着人工智能和自动化技术的发展,波前分析仪可能会与这些技术相结合,实现自动化检测和分析。这将有助于减少人为误差,提高检测效率和准确性。

 

 

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封装检测:可以检测封装后的芯片的焊点质量、封装材料的折射率分布等参数。

利用波前分析仪可以检测封装过程中产生的各种缺陷,如焊点空洞、引线偏移、芯片倾斜等。通过分析波前的相位和振幅变化,可以定位缺陷的位置和大小。波前分析仪可以评估封装后的芯片质量,如焊点的可靠性、引线的连接强度等。通过测量波前的散射和反射情况,可以判断封装质量的优劣。过程监控:在封装过程中,波前分析仪可以实时监测波前的变化,从而及时发现封装过程中的异常情况。这有助于提高封装的成功率和生产效率。波前分析仪在芯片封装检测中具有重要的应用价值,可以帮助工程师提高封装质量、降低生产成本和提高生产效率。随着封装技术的不断发展,波前分析仪的应用领域还将不断拓展。

 

 

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光学元件检测:可以检测透镜、反射镜等光学元件的表面形貌和折射率分布。

波前分析仪可以测量透镜或者透镜组,平面反射镜,球面反射镜的表面面型、曲率半径、折射率分布,透射波前变化,MTF传递曲线等参数,从而评估透镜或者透镜组的质量和性能。

 

 

传感器

波前分析仪用于不同光学元器件的检测

紫外波前分析仪指标参数:

 

传感器

 

传感器

结论:

紫外波前传感器作为一种高精度的光学检测设备,在半导体检测领域具有广阔的应用前景。随着波前分析仪技术的不断发展和成本的降低,相信紫外波前传感器将会在半导体产业中发挥越来越重要的作用。

 

 

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