共聚焦显微镜有什么用？

在科学研究和精密制造领域，对材料表面特性的准确测量至关重要。共聚焦显微镜作为一种先进的显微成像技术，提供了一种非接触、高分辨率的表面分析手段。深圳市中图仪器股份有限公司推出的VT6000系列共聚焦显微镜，以其卓越的性能和多功能性，为微纳米级测量提供了全面的解决方案。

产品概述

VT6000系列共聚焦显微镜基于共聚焦技术原理，结合精密Z向扫描模块和3D建模算法，对器件表面进行非接触式扫描，建立精确的3D图像。该系列产品能够广泛应用于半导体制造、3C电子产品、光学加工、微纳材料制造、汽车零部件、MEMS器件等多个领域，为科研和工业应用提供了强有力的支持。

产品功能

1. 微观形貌测量：设备能够测量物体表面的轮廓尺寸和粗糙度。

2. 自动拼接功能：快速实现大区域的拼接缝合测量，提高测量效率。

3. 一体化测量分析软件：软件自动统计测量数据并提供报表导出功能，支持批量测量。

4. 数据处理功能：包括位置调整、纠正、滤波和提取等模块。

5. 五大分析功能：包括粗糙度分析、几何轮廓分析、结构分析、频率分析和功能分析。

6. 辅助分析工具：一键分析和多文件分析功能，实现批量数据文件的快速分析。

应用领域

VT6000系列共聚焦显微镜可用于测量和分析各种产品、部件和材料的表面形貌特征，如面形轮廓、表面缺陷、磨损情况、腐蚀情况、平面度、粗糙度、波纹度等。

性能特色

1. 高精度与高重复性：基于转盘共聚焦光学系统和高稳定性结构设计，保证了测量精度和重复性。

2. 隔震设计：有效消减底面振动噪声，确保在嘈杂环境中的稳定性和可靠性。

3. 一体化操作软件：提供测量与分析同界面操作，实现快速批量测量，具备自定义分析模板功能。

4. 精密操纵手柄：集成X、Y、Z三个方向位移调整，快速完成测量前工作。

5. 双重防撞保护：软件和机械电子传感器双重保护，降低操作风险。

技术指标

- 行程范围：根据型号不同，X和Y行程范围从100mm到300mm，Z行程为100mm。

- 显微物镜：提供10×;20×;50×;100×不同倍数的物镜，视场范围从120×120 μm到1.2×1.2 mm。

- 高度测量：重复性达到12nm，精度为± (0.2+L/100) μm。

- XY位移平台：负载能力达10kg，控制方式为电动。

- 工作环境：适应多种环境条件，包括电源、温度、湿度和振动等。

产品配置

VT6000系列共聚焦显微镜的标准配置包括主机、物镜、自动位移台、电动物镜转盘、计算机、操纵手柄、软件等。此外，还提供多种可选配置，以满足不同用户的需求。

总结而言，VT6000共聚焦显微镜以其高精度、高重复性、一体化操作和强大的分析功能，在微纳米级测量领域提供了一个可靠的选择。无论是在科研探索还是在精密制造过程中，它都能为用户提供深入洞察微观世界的窗口。