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一种新型精密光纤位移传感器

消耗积分:3 | 格式:rar | 大小:374 | 2009-07-17

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本文论述了一种新型基于垂直干涉的位移传感器, 该装置在麦克尔逊干涉仪的基础上, 采用了一个臂, 参考光与信号光共用一条光纤路径, 气隙距离为待测距离。系统抗干扰能力很强, 结构简单。分辨率为5 nm。
关键词: 光纤; 位移传感器; 干涉
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