Moritex 5X 高分辨率远心镜头 助力晶圆检测

 

5X高分辨率远心镜头

工业镜头相当于机器视觉系统中的眼睛，它能将目标成像在图像传感器的光敏面上，对视觉图像成像发挥着重要作用。今天我们来看看Moritex的5X高分辨率远心镜头——MML5-HR80DVI-43M58。

 

 

MML5-HR80DVI-43M58在传统高倍远心镜头的基础上，提升了分辨率用以匹配高像素相机，倍率更高、像面更大、分辨率更高，应用于搭配大靶面相机的高精度检测时表现优异。

 

同时，5X高分辨率远心镜头具有优异的色差校正性能及内同轴亮度均匀性，做了复消色差设计将轴向色差控制在景深范围内，实现切换光源而无需对焦。镜头的小尺寸设计还能更好地控制设备的紧凑性。

01更高的分辨率

MML5-HR80DVI-43M58分辨率高，光圈开到最大达到F14.7， 比起常规F19，分辨率从2.6μm提高至2μm。

 

02优异的色差校正

做了复消色差后，物方的色差控制在了5μm以内（中心波长R 660nm/G 520nm/B 470nm），即使460~660nm范围内，总的色差也控制在了7μm以内。

 

03更紧凑的尺寸

MML5-HR80DVI-43M58将物像距控制在了395mm内，甚至远小于同级的镜头本体长度，在性能维持甚至更高的情况下，却更有效的帮助控制了设备的紧凑性。

 

当MML5-HR80DVI-43M58搭配6500万，2500万或4500万等高分辨率相机时，是晶圆段的脏污、颗粒、划痕、图案缺陷和电极偏移等等瑕疵检测的不二选择。

晶圆实测图

 

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