3D白光干涉轮廓仪原理，特点，参数

 

3D白光干涉轮廓仪 WLI-1000 原理

 

照明光束经半反半透分光镜分成两束光，分别投射到样品表面和参考镜表面。从两个表面反射的两束光相互干涉，在大靶面黑白相机感光面会观察到明暗相间的干涉条纹。干涉条纹的亮度取决于两束光的光程差，根据白光干涉条纹明暗度以及干涉条纹出现的位置计算出被测样品的相对高度，从而得到样品表面的三维尺寸信息。

普密斯3D白光干涉轮廓仪 WLI-1000系列

3D白光干涉轮廓仪 WLI-1000 介绍

 

3D白光干涉轮廓仪 WLI-1000提供了强⼤、多功能的⾮接触式光学表⾯分析。它可以简单和快速地测量各种表⾯类型，包括光滑、粗糙、平坦、倾斜和阶梯式的表⾯。所有的测量都是⽆损、快速、⽆需样品制备的。所有放⼤倍数下实现亚纳⽶的精度，并且能够快速准确的测试各种样品表⾯，为客⼾提供⾼投资回报率的体验。

普密斯3D白光干涉轮廓仪重复精度0.01nm

 

3D白光干涉轮廓仪 WLI-1000 特点

 

1、表征微观形貌的粗糙度测量；

2、台阶高、角度等轮廓尺寸测量；

3、自动对焦、自动找条纹、自动调亮度等自动化辅助功能；

4、校平、图像修描、去噪和滤波、区域提取等数据处理功能；

5、对比分析和多文件分析等辅助分析功能。

普密斯3D白光干涉轮廓仪

 

3D白光干涉轮廓仪 WLI-1000 参数

 

3D白光干涉轮廓仪 WLI-1000 参数

 

3D白光干涉轮廓仪 WLI-1000 测量案例