当今世界,商品与服务正变得越来越丰富、越来越便利,但也由此引发了一个越来越严重的问题:废弃物。全球每年产生超过20亿吨的城市固体废弃物,预计到2030年这个数字将攀升到25.9亿吨——这还不包括对环境影响巨大、总量惊人的工业垃圾。
在半导体行业,废弃物同样是个刻不容缓的问题,因为在生产流程和日常运营中,总会有不同材料需要废弃和处置。作为应对措施,半导体企业正在采取各种手段来最小化他们在环境中留下的足迹。
就SK海力士而言,公司始终坚持以ESG战略框架“PRISM”为指导,通过积极推进一系列的措施和行动,持续提升企业运营各环节中的可持续发展能力。在6月5日“世界环境日”到来之际,本文将展示SK海力士循环经济(Circular Economy)1的发展,及其先进的废弃物管理系统。
1循环经济(Circular Economy):关乎生产与消费的经济模型,要求所有材料都尽可能地在循环中得到回收和再利用。
以全球领先的废弃物管理推进可持续发展
SK海力士的废弃物管理体系尤其重视回收再利用。根据最新的数据统计,2022年公司的全部废弃物中有大约96%得到了回收利用,回收废弃物的总量共计565,206吨2;而此前的2019年,公司总共回收利用了365,562吨废弃物,约占全部废弃物总量的88%,几年之间取得了明显的进步。
2数据来源:来自《SK海力士可持续发展报告2023》。数据基于韩国国内(利川、青州)和海外(无锡、重庆)的回收比例。
SK海力士废弃物回收利用比例逐年增加
SK海力士在废弃物管理上所做的努力得到了广泛认可,并获得多项权威认证。例如,2022年公司韩国设施产生的废弃物100% 淘汰了填埋处理,公司也因此获得了最高级别的铂金级“废弃物零填埋( ZWTL, Zero Waste to Landfill)3”认证。
3废弃物零填埋(ZWTL,Zero Waste to Landfill)认证:由权威检测机构UL(Underwriters Laboratories)颁发的认证,通过检测废弃物处置过程中的资源回收水平和最终被填埋的残留物总量,来衡量一家企业实际的废弃物回收比例与填埋总量。铂金级ZWTL认证只颁发给能够持续实现100%废弃物转化的企业。
此外,SK海力士是第一家获得韩国环境部“循环资源认证” 的大型企业,在2019年取得了回收废弃电子芯片托盘(IC tray)4的资质。此后又相继在回收有色金属、合成树脂,以及电子和电器设备方面,获得了同等资格的认证。
4电子芯片托盘(IC tray):又名IC 托盘,是在晶圆生产过程中用来承载、转运半导体产品,保护其免受震动、电磁波、高温等外界影响的托盘。
创新废弃物管理的下一代技术
在半导体行业中,很多消耗性材料的处置都会产生废弃物,例如晶圆或化学机械抛光(CMP,Chemical Mechanical Polishing)5工艺中用到的抛光垫等。为了减少晶圆废弃物,SK海力士创造出了独特的晶圆再生(Wafer Regeneration)技术回收利用晶圆。这项技术能够对通常因瑕疵而被废弃的未图案化晶圆(Non-pattern wafer)进行再利用,其借助湿法剥离和化学机械抛光工艺提升晶圆的表面质量,经过加工的晶圆可以作为高品质的测试晶圆得到重新使用。相比此前SK海力士针对未图案化晶圆采用的回收技术,使用新技术再生的晶圆可重复使用的次数增加了100多倍。借助这样的再利用和回收体系,SK海力士有望在2025年节约862亿韩元(约合4.56亿元人民币)的经济成本,以及370亿韩元(约合1.96亿元人民币)的社会成本。
5化学机械抛光(CMP,Chemical Mechanical Polishing):利用多种化学和机械方式对晶圆表面进行抛光和平整的工艺。其目的是去除掉生产过程在晶圆表面薄膜上留下的坑洼或者曲面,确保每一层的平整。
公司同时也在努力减少由CMP抛光垫产生的废弃物。抛光垫是化学机械抛光工艺中使用最多的耗材,需要经常替换,也因此成了大量废弃物的来源之一。SK海力士开发了一种回收CMP抛光垫的技术,使用可回收抛光垫替代一次性产品,不但能够节约成本、每年减少数吨的抛光垫消耗,还能减少焚烧废弃抛光垫产生的有害气体排放。
为了巩固在资源回收利用方面的领先地位,SK海力士在全球半导体企业中第一个制定了专门的路线图,力求主动扩大回收和可再生材料在生产流程中的使用。根据该路线图,公司的目标是到2025年让回收材料在产品中的使用比例达到25%,并在2030年超过30%。为了实现这一目标,公司将积极探索相关回收技术,并建设所需的基础设施。
加速奔向循环经济
凭借备受各方认可的废弃物管理体系,SK海力士致力于通过不断优化材料的使用和回收再利用,达成资源循环的目标。公司积极采用先进技术和创新回收手段,以不断完善可持续发展能力。放眼未来,SK海力士还将不断加大在废弃物管理和回收再利用上的投入,为构建全球范围内的循环经济和实现更加绿色的未来,贡献积极力量。
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