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电容式传感器
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2009-11-14
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电容式传感器:1.掌握传感器工作原理及特性2.掌握测量电路3.了解传感器的应用
7.1 工作原理及特性工作原理:将被测量转化为电容量变化
工作特性：灵敏度s与极距的平方成反比，极距越小，灵敏度越高，但极距减小受电容极板间击穿电压的限制。一般δ0＝0.1～1mm左右。电容量C与极距δ呈非线性关系，为了减小非线性误差，通常极距变化范围Δδ/δ0≈0.01～0.1。此类电容传感器仅适于微小位移的测量（0.01μm～数百微米）；非接触测量
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