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碳纳米管在微机电系统中的应用研究

消耗积分:5 | 格式:rar | 大小:223 | 2009-11-16

笑过就走

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碳纳米管研究的不断发展为其与微机电系统(MEMS) 的结合提供了可能,这种
结合“Top - down”与“Bottom2up”的方法是微米/ 纳米技术的一个发展趋势。
碳纳米管的特性及其在MEMS 上的潜在应用,综述了碳纳米管的制备方法以及与
MEMS 技术的兼容性,列举了目前一些碳纳米管与MEMS 结合研究的典型,并对其
发展趋势进行了分析。
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