SOLMATES：准分子激光器推进脉冲激光沉积

挑战

薄膜沉积技术应用于多种市场，例如 MEMS、半导体、光伏、OLED 显示屏和用于 5G 通信的射频滤波器。 新型复杂材料系统具有越来越重要的材料特性，这就要求对薄膜沉积技术进行不断扩展和质量改进，以支持更多种类的薄膜工艺，同时还可以实现灵活的工艺优化。 Solmates 位于荷兰恩斯赫德，该公司专业研发脉冲激光沉积 (PLD) 技术，已着手为不断发展的薄膜行业开发功能强大且使用方便的沉积设备。

解决方案

Solmates 团队使用了 PLD。这是一种物理气相沉积方法，依靠准分子激光将化学计量特征极为复杂的材料沉积在导电和非导电基板上。 他们的 PLD 系统可以完全控制沉积参数，因而能够对最终薄膜特性进行工程设计，例如成分、结晶度、密度、孔隙率和薄膜应力。 薄膜制造商可以获得其他沉积技术无法实现的电学和光学薄膜特性，甚至涉足新材料系统和应用。 Solmates 选择了相干公司的 LEAP 准分子激光器系列，因为该产品系列兼具高能量(每脉冲高达 1 焦耳)和可扩展功率(80 至 300 W)，这两个方面决定了 PLD 系统的吞吐量。 此外，LEAP 激光器在要求苛刻的大批量生产环境中拥有良好记录，具备全天候工业可靠性，并尽可能降低每片晶圆的成本。

结果

如今，Solmates PLD 平台可以集成到任何标准集群框架中，以支持小规模和大批量生产。 随着适合最大 300 毫米工业晶圆的高质量 PLD 工艺的出现，工业客户能够扩大他们的薄膜沉积产能，并在沉积产品组合中添加大约 30 种新材料和材料系统。

审核编辑 黄宇